[发明专利]光谱仪、单光仪、绕射光栅及其制造方法与母模制造方法有效
| 申请号： | 201510521841.1 | 申请日： | 2015-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN106482832B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 洪健翔;叶展良 | 申请（专利权）人： | 台湾超微光学股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/18 | 分类号： | G01J3/18;G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇;李有财 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光谱仪 单光仪 光栅 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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