[发明专利]O3设备尾气处理方法及O3设备尾气处理装置

说明书

技术领域

本发明及一种O₃设备尾气处理方法及O₃设备尾气处理装置。

背景技术

目前，太阳能光伏领域O₃工艺：O₃工艺指的是利用臭氧易氧化的特性对硅片表面进行处理的工艺方法。在常温、常压下O₃气体活性很高，易与硅片表面的断裂键形成Si-O键，形成二氧化硅，从而形成一层很薄的氧化层保护硅片表面，抑制外界水汽、正负离子、颗粒的侵袭，提升硅片抗侵蚀的能力。

O₃设备及尾气处理：O₃设备是利用氧气在紫外光照射下产生离解，形成单个的O负离子及正离子，再随机结合形成O₃及其他的带电O离子；现用的O₃设备通过CDA(压缩空气)、O₃混合气体进气提供O₃及适当的压力，通过带有紫外灯管的腔体内进行光化学反应产生O₃，同样通过CDA将产生的O₃携带到硅片表面进行表面改性，提升硅片表面的抗侵蚀能力。在此过程中，部分O₃未能及时反应，需通过外围管道将剩余的气体(尾气)排出，确保设备运行的稳定性及重复性。

在现有设备上，尾气的排放无任何监控及控制措施，不利于现场技术人员对尾气的管控，导致监控漏洞。在异常情况下，尾气排放偏大或者偏下，会对喷淋板下方O₃处理硅片表面的能力造成严重影响，降低硅片表面的抗腐蚀能力，直接导致电池片PID(电势诱导衰减)能力下降，从而使电池片寿命缩短。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种O₃设备尾气处理方法，通过该方法可以及时监控和量化O₃设备尾气排放的流量，提升其稳定性，从而保证电池片PID能力，增加电池片寿命。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种O₃设备尾气处理方法，该方法的步骤如下：

(a)通过在O₃设备尾气管道上加装的流量计来检测O₃设备尾气排放时的实时流速m；

(b)比较实时流速m和尾气管道负压稳定条件下的尾气排放时的标称流速M的大小，通过控制在O₃设备尾气管道上加装的阀门的开度大小来调节实时流速m，使实时流速m向标称流速M靠拢。

进一步，在所述的步骤(b)中，通过控制在O₃设备尾气管道上加装的阀门的开度大小来调节实时流速m，使实时流速m等于标称流速M。

进一步，在所述的步骤(b)中，当m＜M时，加大阀门的开度；当m＞M时，减小阀门的开度。

本发明还提供了一种设备尾气处理方法中使用的O₃设备尾气处理装置，它包括流量计和阀门，所述流量计加装在O₃设备尾气管道上，以便流量计用于检测O₃设备尾气排放时的实时流速；所述阀门也加装在O₃设备尾气管道上，以便阀门用于调节O₃设备尾气排放时的实时流速。

采用了上述技术方案后，在O₃设备尾气管道上加装合适量程的流量计，来衡量尾气排放时的流速，在管道负压稳定的条件下，尾气单位时间内的流量可以精确衡量：同时在管道中间加装阀门，通过控制阀门开度大小，来调整尾气排放的流量。在结合流量计、阀门的改善后，可以有效的控制尾气排放的大小，也利于异常的排查，确保设备的稳定性，防止因尾气排放过大或者过小导致O₃气体与硅片表面反应的异常，改善了O₃工艺的稳定性。

具体实施方式

为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例，对本发明作进一步详细的说明。

一种O₃设备尾气处理方法，该方法的步骤如下：

(a)通过在O₃设备尾气管道上加装的流量计来检测O₃设备尾气排放时的实时流速m；

(b)比较实时流速m和尾气管道负压稳定条件下的尾气排放时的标称流速M的大小，通过控制在O₃设备尾气管道上加装的阀门的开度大小来调节实时流速m，使实时流速m向标称流速M靠拢。