[发明专利]一种大型垂直式HVPE反应室的装配辅助装置有效
| 申请号： | 201510519116.0 | 申请日： | 2015-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN106467980B | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 王健辉;刘鹏;张茶根;张国义;童玉珍 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B29/40 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523518 *** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应室 装配 垂直式 装配辅助装置 精度调节 承重板 承重柱 可调节 吊装 限位移动结构 设备稳定性 上下活动 维修拆装 整体组装 装配效率 承重 承重管 大区域 顶法兰 水平度 同心度 外套管 有效地 上体 拆装 承载 | ||
1.一种大型垂直式HVPE反应室的装配辅助装置，其特征在于，由顶法兰(1)、吊装承重柱(2)、和精度调节承重板(3)构成框架结构；所述吊装承重柱(2)，在其两端设有可调节的限位移动结构；所述精度调节承重板(3)，为中空平板；在精度调节承重板(3)上设有通孔，所述吊装承重柱(2)可以穿过通孔并与之形成稳固连接；所述框架结构，在其内部空间，可以容纳大型垂直式HVPE反应室的上部-即A区域，并且能承受大型垂直式HVPE反应室的上部-即A区域的全部重量。
2.根据权利要求1所述的大型垂直式HVPE反应室的装配辅助装置，其特征在于，所述吊装承重柱(2)的数量不少于3个；所述吊装承重柱(2)的形状为圆柱、方柱或多边形立柱；其尺寸及承重量则可根据在所述框架内待装配的大型垂直式HVPE反应室的上部-即A区域的总高度及总重量予以设计。
3.根据权利要求1所述的大型垂直式HVPE反应室的装配辅助装置，其特征在于，所述吊装承重柱(2)两端的限位移动结构，通过调节其上下移动范围，可以限定吊装承重柱与顶法兰之间的相对位置，也可以限定吊装承重柱与其穿过的精度调节承重板之间的相对位置。
4.根据权利要求1所述的大型垂直式HVPE反应室的装配辅助装置，其特征在于，所述中空的精度调节承重板(3)，其内、外边缘的形状及尺寸，可根据在所述框架内待装配的大型垂直式HVPE反应室的上部-即A区域的形状及尺寸予以设计。
5.根据权利要求1所述的大型垂直式HVPE反应室的装配辅助装置，其特征在于，在精度调节承重板(3)的通孔的数量、形状及尺寸，可根据与之匹配的吊装承重柱的数量、形状及尺寸予以设计。
6.根据权利要求1所述的大型垂直式HVPE反应室的装配辅助装置，其特征在于，精度调节承重板(3)上刻有位置信息。
7.根据权利要求1所述的大型垂直式HVPE反应室的装配辅助装置，其特征在于，所述辅助装置，其材料须耐受1300K以上的高温工作环境，其材质为钨或钼。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市中镓半导体科技有限公司，未经东莞市中镓半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510519116.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
