[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀剂图形的制造方法以及印刷电路板的制造方法

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，为含有(A)粘合剂聚合物、(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)阻聚剂的感光性树脂组合物，所述(C)光聚合引发剂包含吖啶化合物，所述(D)阻聚剂的含量为20～100质量ppm。

2.根据权利要求1记载的感光性树脂组合物，其中，所述吖啶化合物包含以下述通式(I)表示的化合物，

通式(I)中，R¹表示碳原子数2～20的亚烷基、氧杂二亚烷基或硫代二亚烷基。

3.根据权利要求1或2记载的感光性树脂组合物，其中，所述(A)粘合剂聚合物包含含有羧基的粘合剂聚合物。

4.根据权利要求3记载的感光性树脂组合物，其中，所述含有羧基的粘合剂聚合物含有作为聚合性单体的(甲基)丙烯酸。

5.根据权利要求1或2记载的感光性树脂组合物，其中，所述(A)粘合剂聚合物含有作为聚合性单体的苯乙烯或苯乙烯衍生物。

6.根据权利要求5记载的感光性树脂组合物，其中，所述苯乙烯或苯乙烯衍生物的含量相对于聚合性单体总量为0.1～40质量％。

7.根据权利要求1或2记载的感光性树脂组合物，其中，所述(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物包含以下述通式(II)表示的化合物，

通式(II)中，R²和R³各自独立地表示氢原子或甲基，X和Y各自独立地表示碳原子数1～6的亚烷基，m₁、m₂、n₁和n₂表示使m₁+m₂+n₁+n₂为0～40而选出的0～20的整数。

8.根据权利要求7记载的感光性树脂组合物，其中，以所述通式(II)表示的化合物包含2,2-二(4-((甲基)丙烯酰氧基多乙氧基)苯基)丙烷。

9.根据权利要求7记载的感光性树脂组合物，其中，以所述通式(II)表示的化合物包含R²和R³为甲基、X和Y为亚乙基、n₁和n₂为0、m₁+m₂为10的化合物。

10.根据权利要求7记载的感光性树脂组合物，其中，以所述通式(II)表示的化合物的含量相对于所述(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物全部为10～90质量％。

11.根据权利要求7记载的感光性树脂组合物，其中，以所述通式(II)表示的化合物的含量相对于所述(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物全部为20～85质量％。

12.根据权利要求7记载的感光性树脂组合物，其中，以所述通式(II)表示的化合物的含量相对于所述(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物全部为30～80质量％。

13.根据权利要求1或2记载的感光性树脂组合物，其中，所述(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物包含以下述通式(III)表示的化合物，

通式(III)中，R⁴表示氢原子或甲基，R⁵表示氢原子、甲基、卤代甲基的任一个，R⁶表示碳原子数1～6的烷基、卤原子、羟基的任一个，k表示0～4的整数，其中，k为2以上时，多个存在的R⁶可以相同也可以不同。