[发明专利]用于OLED蒸发源的坩埚及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种用于OLED蒸发源的坩埚及其制造方法。

背景技术

随着人们对更高品质的显示产品的追求，OLED成为了最具潜力的替代LCD液晶显示的新兴技术，OLED技术正处于快速发展的阶段。国内外普遍采用有机材料蒸镀的方式生产OLED显示产品，RGB像素的色偏、效率等取决于蒸镀膜层均匀性等特性，而在蒸镀过程中，用于蒸发源的坩埚作为蒸镀中的重要部件，直接决定着蒸镀膜层的均匀性。

然而，现有技术中用于OLED蒸发源的坩埚为平底结构，加之有机材料本身粘性较大和液化后表面张力作用，导致有机材料在坩埚中的分布不均匀。蒸镀过程中会出现部分露底，影响有机材料蒸镀的均匀性。

有鉴于此，确有需要提供一种能够至少部分地解决上述问题的新的用于OLED蒸发源的坩埚及其制造方法。

发明内容

本发明的目的旨在解决现有技术中存在的上述问题和缺陷的至少一个方面。

根据本发明的一个方面，提供了一种用于OLED蒸发源的坩埚，所述坩埚包括主体和设置在主体上的内板，其中：

在垂直于主体的长度方向的横截面中，所述主体的底部从下至上逐渐变大。

在一个示例中，在垂直于主体的长度方向的横截面中所述主体的底部设置成V形、U形或者它们的组合的形状。

在一个示例中，在所述横截面中所述主体的底部设置成单个V形、两个相连的V形或更多个相连的V形。

在一个示例中，在所述横截面中所述主体的底部设置成单个U形、两个相连的U形或更多个相连的U形。

在一个示例中，在所述横截面中所述主体的底部设置成相连的V形和U形的组合形状。

在一个示例中，所述内板被设置成在所述横截面中具有与所述主体的底部相匹配的形状。

在一个示例中，所述内板上设置有成预定排布形式的多个孔，使得在坩埚内的蒸发材料能够穿过所述孔沉积在放置在所述坩埚上或上方的OLED器件的基板上。

在一个示例中，所述内板上的孔在垂直于主体的高度方向的水平面上的投影中是均匀分布的。

在一个示例中，以主体的长度方向为X坐标轴，以主体的宽度方向为Y坐标轴，以主体的高度方向为Z坐标轴建立的坐标系中，所述内板的孔在XY平面上的投影中是均匀分布的。

在一个示例中，在所述XY平面上的投影中，在Y轴方向上设置以第一间距彼此间隔开的多排孔，在每一排孔中的多个孔沿X轴方向延伸并且相邻的两个孔以第二间距彼此间隔开。

在一个示例中，所述第一间距等于第二间距。

在一个示例中，相邻的两排孔中的孔彼此对准。

在一个示例中，在相邻的两排孔中的孔不彼此对准时，将其中的一排孔中的每个孔与另一排孔中的与之相邻的两个孔的连接直线的中心对准。

在一个示例中，中间部，所述中间部上设置有所述孔。

在一个示例中，所述内板还包括位于中间部两侧的侧部，所述侧部用于盖设在主体的顶部上。

根据本发明的另一方面，提供了一种制造根据权利要求1所述的用于OLED蒸发源的坩埚的方法，包括以下步骤：

提供一具有主体的坩埚，在垂直于主体的长度方向的横截面中，所述主体的底部从下至上逐渐变大；

将内板盖设在坩埚的主体的上端上。

本发明的实施例通过对坩埚结构(具体是坩埚底部的结构)改善或优化，可以提高蒸镀的均匀性和材料使用率及由于基底用量过少对蒸镀膜层均匀性的影响，使蒸镀膜层的性能大大提高。

附图说明

本发明的这些和/或其他方面和优点从下面结合附图对优选实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1a和1b是现有技术中的用于OLED蒸发源的坩埚的垂直于宽度方向的横截面的示意图和垂直于长度方向的横截面的示意图；

图2a和2b是根据本发明的第一实施例的用于OLED蒸发源的坩埚的垂直于长度方向的横截面的示意图和坩埚的内板的俯视图；

图3a和3b是根据本发明的第二实施例的用于OLED蒸发源的坩埚的垂直于长度方向的横截面的示意图和坩埚的内板的俯视图；

图4a和4b是根据本发明的第三实施例的用于OLED蒸发源的坩埚的沿垂直于长度方向的横截面的示意图和坩埚的内板的俯视图；

图5a和5b是根据本发明的第四实施例的用于OLED蒸发源的坩埚的垂直于长度方向的横截面的示意图和坩埚的内板的俯视图；