[发明专利]多路的加热器阵列的故障检测方法

权利要求书

1.一种在半导体处理装置的室中处理半导体衬底的过程中用于衬底支撑件中的多区域加热板的故障检测的方法，所述衬底支撑件具有所述多区域加热板之下的冷却板，所述多区域加热板包括多个平面加热器区域、多个功率供给线和多个功率回线，其中所述多个功率供给线中的每个功率供给线连接到所述多个平面加热器区域且每个功率回线连接至所述多个平面加热器区域，并且所述多个平面加热器区域中没有两个平面加热器区域共用相同的成对的所述多个功率供给线和所述多个功率回线；所述方法包括：

(a)将所述半导体衬底装载到衬底支撑件上；

(b)将处理气体供给到所述室中；

(c)激励所述处理气体成等离子体；

(d)将功率供给到所述多个功率供给线中的一个或多个功率供给线以实现支撑件温度分布同时使冷却剂在所述冷却板中流通，其中所述支撑件温度分布通过控制连接至所述多个功率供给线的第一多路转换器和连接至所述多个功率回线的第二多路转换器来产生以独立地利用所供给的功率来控制所述多个平面加热器区域中的每个平面加热器区域；

(e)获得所有的所述多个平面加热器区域的测量的总加热功率；

(f)比较所述多个平面加热器区域的所述测量的总加热功率与预先确定的总加热功率；

(g)如果所述测量的总加热功率偏离所述预先确定的总加热功率预先确定的差额，则触发报警信号。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述预先确定的差额是所述预先确定的总加热功率的±20％、±10％、±5％、或±1％。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，通过测量跨越所述多个平面加热器区域中的每个的电压V，测量流经所述多个平面加热器区域中的每个的电流I，用I乘以V，并累加所述多个平面加热器区域中的每个的V·I，获得所述测量的总加热功率。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述电压V是使用连接在所述多个功率供给线中的一个和所述多个功率回线中的一个之间的电压表测量的，所述电流I是使用连接在所述多个功率回线中的一个和接地之间的电流表测量的。

5.根据权利要求1所述的方法，其中：

当所述多个功率供给线中的一个或多个功率供给线连接到功率源，且所述多个功率回线中的至少一个功率回线连接到电气接地时，通过测量所述多个功率供给线中的所述一个或多个功率供给线上的电压V，和测量由所述多个功率回线中的所述至少一个功率回线传送的总电流I，并用I乘以V，获得连接到所述多个功率供给线中的所述一个或多个功率供给线和所述多个功率回线中的所述至少一个功率回线的所述多个平面加热器区域的所述测量的总加热功率；以及

通过累加连接到所述多个功率供给线中的所述一个或多个功率供给线和所述多个功率回线中的所述至少一个功率回线的所述多个平面加热器区域中的每个的预先确定的加热功率来计算所述预先确定的总加热功率。

6.根据权利要求1所述的方法，其中：

当所述多个功率回线中的一个或多个功率回线连接到电气接地，且所述多个功率供给线中的至少一个功率供给线连接到功率源时，通过测量所述多个功率供给线中的所述至少一个功率供给线上的电压V，测量所述多个功率供给线中的所述至少一个功率供给线上的电流I，并用I乘以V，获得连接到所述多个功率回线中的所述一个或多个功率回线和所述多个功率供给线中的所述至少一个功率供给线的所述多个平面加热器区域的所述测量的总加热功率；以及

通过累加连接到所述多个功率回线中的所述一个或多个功率回线和所述多个功率供给线中的所述至少一个功率供给线的所述多个平面加热器区域中的每个的预先确定的加热功率来计算所述预先确定的总加热功率。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，所述多个功率供给线中的所述一个或多个功率供给线上的所述电压V通过减去不在所述多个平面加热器区域中的平面加热器区域上的电压降进行校正。

8.根据权利要求6所述的方法，其中，所述多个功率供给线中的所述至少一个功率供给线上的所述电压V通过减去不在所述多个平面加热器区域中的平面加热器区域上的电压降进行校正。