[发明专利]一种芯片顶起分离装置有效
| 申请号: | 201510507585.0 | 申请日: | 2015-08-18 |
| 公开(公告)号: | CN105161444B | 公开(公告)日: | 2017-10-13 |
| 发明(设计)人: | 叶乐志;沈会强;郎平;蒋成刚 | 申请(专利权)人: | 北京中电科电子装备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人: | 许静,安利霞 |
| 地址: | 100176 北京市经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 芯片 顶起 分离 装置 | ||
1.一种芯片顶起分离装置,其特征在于,包括:
底座;
伺服电机,配置于所述底座的一侧边;
转轴,其一端与所述伺服电机的输出端相连;
外壳座,内部形成封闭的空腔,配置于所述底座的另一侧边,所述外壳座上设置有用于连接真空发生器的气孔;
顶起壳,内部形成封闭的空腔,设置于所述外壳座的顶部并与所述外壳座的空腔连通,所述顶起壳顶部的表面上设置有吸附槽;
拨杆,所述拨杆的下部安装在所述外壳座内,所述拨杆的上部伸入所述顶起壳内;
两个偏心轮,与所述转轴相连,包括一相对于所述偏心轮的本体的轴心偏心设置的偏心轮销;
其中,上偏心轮的所述偏心轮销滑动设置于所述拨杆的中部设置的轨道内;下偏心轮的偏心轮销与所述拨杆的下部铰接;
所述转轴带动所述下偏心轮旋转,所述下偏心轮驱动所述拨杆沿竖直方向往复运动,从动的所述上偏心轮带动所述拨杆摆动。
2.如权利要求1所述的芯片顶起分离装置,其特征在于,所述顶起壳为一下端带法兰缘的套筒形结构,所述顶起壳通过压板与所述外壳座相连形成密闭的空腔。
3.如权利要求1所述的芯片顶起分离装置,其特征在于,所述顶起壳的上表面开设有吸附槽,拨杆孔设置于所述吸附槽内,所述拨杆孔为条形。
4.如权利要求1所述的芯片顶起分离装置,其特征在于,所述偏心轮还包括:
一中心通孔,沿所述偏心轮的本体的轴心设置;
一狭缝,沿所述偏心轮的本体的径向设置,所述狭缝连接所述偏心轮的本体的外表面和所述中心通孔;
一螺栓孔,设置于所述偏心轮的本体的侧面上,所述螺栓孔经过所述狭缝。
5.如权利要求4所述的芯片顶起分离装置,其特征在于,所述偏心轮还包括:
所述偏心轮的本体的一端面设置有所述偏心轮销,所述偏心轮的本体的另一端面设置有连接孔,所述连接孔沿所述下偏心轮的本体的轴向设置。
6.如权利要求1所述的芯片顶起分离装置,其特征在于,所述拨杆包括下拨杆和上拨杆,所述下拨杆和所述上拨杆通过螺栓连接;
所述上偏心轮和所述下偏心轮与所述下拨杆配合。
7.如权利要求6所述的芯片顶起分离装置,其特征在于,上拨杆上部排列多个齿状结构,每个所述齿状结构的尖端为圆角。
8.如权利要求1所述的芯片顶起分离装置,其特征在于,所述外壳座包括一盖板,所述盖板设置于所述外壳座的一侧,所述盖板上设置有所述气孔。
9.如权利要求1所述的芯片顶起分离装置,其特征在于,所述芯片顶起分离装置还包括:
拨杆座,所述拨杆座设置于所述底座和所述外壳座之间,固定所述外壳座。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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