[发明专利]用于平板表面质量的检测方法与系统在审
| 申请号： | 201510500067.6 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN105044117A | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 余卿;崔长彩;易定容;章明;孔令华;叶瑞芳;范伟;王寅;李煌;张勇贞 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/24 |
| 代理公司： | 泉州市文华专利代理有限公司 35205 | 代理人： | 陈智海 |
| 地址： | 362000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 平板 表面 质量 检测 方法 系统 | ||
【权利要求书】：
1.用于平板表面质量的检测系统，其特征在于：包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、反射镜、分光镜和微透镜阵列；待测平板对应于微透镜阵列的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。
2.根据权利要求1所述的用于平板表面质量的检测系统，其特征在于：所述微透镜阵列是一个由直径几百微米、焦距十几至几十微米的小透镜构成的阵列。
3.用于平板表面质量的检测方法，其特征在于：将光源发出的光束经过准直透镜后照射在反射镜表面，被反射后经过分光镜照射在微透镜阵列表面，被微透镜阵列色散、聚焦后形成色散光点阵列，并照射在待测平板表面；待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动，从而使色散光点阵列对待测平板表面进行横向扫描，在不对待测平板在光轴方向上做纵向扫描的前提下，获得待测平板表面的几何量信息以及检测其表面的质量情况。
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