[发明专利]硫化镉气相合成装置有效
| 申请号: | 201510489364.5 | 申请日: | 2015-08-11 |
| 公开(公告)号: | CN105060336B | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
| 发明(设计)人: | 曹昌威;詹科;张程;种娜;杨旭;雷聪 | 申请(专利权)人: | 峨嵋半导体材料研究所 |
| 主分类号: | C01G11/02 | 分类号: | C01G11/02 |
| 代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司51214 | 代理人: | 房云 |
| 地址: | 614200 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 硫化 相合 装置 | ||
1.一种硫化镉气相合成装置,其特征在于,所述硫化镉气相合成装置包括彼此连通的镉蒸发管、硫蒸发管和合成管,所述镉蒸发管的出料口和硫蒸发管的出料口分别与合成管的进料口连接,并且气态镉从镉蒸发管进入合成管的方向与气态硫从硫蒸发管进入合成管的方向之间的夹角大于0°且小于或等于90°,其中,所述合成管中设置有用于改变气态镉与气态硫的移动路径的挡板组件,所述挡板组件包括挡板固定杆和多块挡板,所述挡板固定杆沿着合成管的长度方向固定在合成管中,所述多块挡板间隔地设置在挡板固定杆上并且所述挡板与合成管的内壁之间具有间隙。
2.根据权利要求1所述的硫化镉气相合成装置,其特征在于,镉蒸汽从镉蒸发管进入合成管的方向与硫蒸汽从硫蒸发管进入合成管的方向之间的夹角为0~45°。
3.根据权利要求1所述的硫化镉气相合成装置,其特征在于,所述镉蒸发管具有固态镉转化为气态镉的镉蒸发室,镉蒸发管的进料口处设置有具有进气管的进气帽,所述进气帽与镉蒸发管的进料口之间为磨口连接。
4.根据权利要求1所述的硫化镉气相合成装置,其特征在于,所述硫蒸发管具有固态硫转化为气态硫的硫蒸发室,硫蒸发管的进料口处设置有具有进气管的进气帽,所述进气帽与硫蒸发管的进料口之间为磨口连接。
5.根据权利要求1所述的硫化镉气相合成装置,其特征在于,所述合成管具有气态镉与气态硫进行合成反应的合成室,所述合成管的出料口处设置有具有出气管的出气帽,所述出气帽与合成管的出料口之间为磨口连接。
6.根据权利要求1所述的硫化镉气相合成装置,其特征在于,所述挡板为半圆片状的石英挡板。
7.根据权利要求3或4所述的硫化镉气相合成装置,其特征在于,气相载体通过所述进气帽的进气管进入至镉蒸发室或硫蒸发室中。
8.根据权利要求7所述的硫化镉气相合成装置,其特征在于,所述气相载体为氩气。
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