[发明专利]硅块检测用的卡盘装置在审
| 申请号： | 201510464959.5 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN105067521A | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 杨红 | 申请（专利权）人： | 江苏奥能光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/88 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 陆华君 |
| 地址： | 215638 江苏省苏州市张家港市经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 卡盘 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅块检测用的卡盘装置，所述卡盘的顶面凹设形成有凹槽，其特征在于：所述卡盘装置的顶端安装有硅块固定装置，所述硅块固定装置包括上下依次连接的硅胶层、支撑板和凸块，所述凸块的外形尺寸与所述凹槽匹配，所述凸块可拆卸卡持于所述凹槽内。
2.根据权利要求1所述的硅块检测用的卡盘装置，其特征在于：所述凸块为环形的凸块。
3.根据权利要求2所述的硅块检测用的卡盘装置，其特征在于：所述环形凸块的尺寸为158*158mm，所述环形凸块的宽度为3mm，高度为3mm。
4.根据权利要求1所述的硅块检测用的卡盘装置，其特征在于：所述支撑板和/或凸块的材质为PE或PVC。
5.根据权利要求1所述的硅块检测用的卡盘装置，其特征在于：所述硅胶层的厚度为6mm。
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