[发明专利]一种金属遮罩的对位方法

权利要求书

1.一种金属遮罩的对位方法，适于高分辨率的OLED显示器，其特征在于，该对位方法包括以下步骤：

提供一磁铁板；

形成多个OLED基板于所述磁铁板的上方；

形成一精细金属遮罩于所述OLED基板的上方；

根据所述OLED基板的数量及每个OLED基板的尺寸，将所述精细金属遮罩至少分割为第一直排群组和第二直排群组；以及

提供一蒸镀源依次对所述第一直排群组和所述第二直排群组进行蒸镀，以定义单一颜色的子像素图案。

2.根据权利要求1所述的金属遮罩的对位方法，其特征在于，所述蒸镀源的蒸镀方向为垂直蒸镀、水平上方蒸镀或水平下方蒸镀。

3.根据权利要求1所述的金属遮罩的对位方法，其特征在于，所述蒸镀源为点蒸镀源、线蒸镀源或平面蒸镀源。

4.根据权利要求1所述的金属遮罩的对位方法，其特征在于，所述第一直排群组或所述第二直排群组与所述OLED基板的对位精度取决于单一的误差精度。

5.根据权利要求4所述的金属遮罩的对位方法，其特征在于，若所述精细金属遮罩的坐标精度为A，所述第一直排群组与所述OLED基板的对位误差精度为a，所述第二直排群组与所述OLED基板的对位误差精度为b，则A等于a与b之和。

6.一种金属遮罩的对位方法，适于高分辨率的OLED显示器，其特征在于，该对位方法包括以下步骤：

提供一磁铁板；

形成一OLED基板于所述磁铁板的上方；

形成第一精细金属遮罩群组于所述OLED基板的上方；

提供一蒸镀源对所述第一精细金属遮罩群组进行蒸镀，以定义单一颜色的子像素图案；

形成第二精细金属遮罩群组于所述OLED基板的上方，所述第二精细金属遮罩群组的位置不同于所述第一精细金属遮罩群组的位置；以及

利用所述蒸镀源对所述第二精细金属遮罩群组进行蒸镀，以定义所述单一颜色的子像素图案，直至所述OLED基板中所有的所述单一颜色的子像素图案均被定义完成。

7.根据权利要求6所述的金属遮罩的对位方法，其特征在于，所述单一颜色的子像素图案对应于红色子像素、绿色子像素或蓝色子像素。

8.根据权利要求6所述的金属遮罩的对位方法，其特征在于，所述蒸镀源的蒸镀方向为垂直蒸镀、水平上方蒸镀或水平下方蒸镀。

9.根据权利要求6所述的金属遮罩的对位方法，其特征在于，所述蒸镀源为点蒸镀源、线蒸镀源或平面蒸镀源。

10.根据权利要求6所述的金属遮罩的对位方法，其特征在于，所述对位方法还包括：

在所述蒸镀源对所述第一精细金属遮罩群组或所述第二精细金属遮罩群组进行蒸镀时，提供一遮挡层以覆盖所述OLED基板中的未蒸镀区域。