[发明专利]一种纳米多孔二氧化锡薄膜气敏材料及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种纳米多孔二氧化锡薄膜气敏材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

a)将13.25克拉的白金薄膜裁剪成10mm×10mm的正方形，用浓硝酸腐蚀10h，得到纳米多孔金薄膜，用去离子水反复清洗残余在表面以及孔内残余的酸后，将薄膜转移到清洗干净的石英片表面，并吹干；

b)利用原子层沉积将二氧化锡沉积于纳米多孔金薄膜的表面得到包覆有二氧化锡的纳米多孔金薄膜；

c)将步骤b)得到的纳米多孔金薄膜放置在带盖的刚玉槽内，在800℃温度的马弗炉通空气烧结1h，之后自然冷却至室温，得到完全结晶的二氧化锡；

d)将盐酸和硝酸按体积比3:1配置好王水，将退火后的样品放置在培养皿内，在王水中浸泡0.8～1.5h，使纳米多孔金薄膜完全腐蚀干净，用去离子水反复清洗，之后用氮气枪吹干，干燥箱内保存样品；

所述的原子沉积步骤包括多个沉积循环，所述的沉积循环为300次。

2.根据权利要求1所述的纳米多孔二氧化锡薄膜气敏材料的制备方法，其特征在于，所述步骤b)中原子沉积步骤包括：将四(二甲氨基)锡脉冲处理1s,然后氮气处理20s，臭氧脉冲处理0.03s,然后氮气处理20s。

3.根据权利要求1或2所述的纳米多孔二氧化锡薄膜气敏材料的制备方法，其特征在于，所述步骤a)中的石英片通过以下方法进行处理：将石英片裁剪成10mm×15mm的长方形，依次用去离子水、丙酮和乙醇超声清洗15分钟，用氮气枪将处理后的石英片吹干。

4.一种纳米多孔二氧化锡薄膜气敏材料，其特征在于，其通过如权利要求1至3中任意一项所述的纳米多孔二氧化锡薄膜气敏材料的制备方法制备得到。

5.一种如权利要求4所述的纳米多孔二氧化锡薄膜气敏材料的应用，其特征在于，纳米多孔二氧化锡薄膜气敏材料用于检测二氧化氮,二氧化氮的检测温度为300度，在氮气氛围中对二氧化氮的极限响应为170ppb。

6.根据权利要求5所述的纳米多孔二氧化锡薄膜气敏材料的应用，其特征在于，在氮气氛围中，二氧化氮的浓度为10ppm时对二氧化氮的灵敏度为36。