[发明专利]一种重载基板台的六自由度调整装置有效
| 申请号： | 201510451390.9 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106406032B | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 施胜男;高玉英 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 重载 基板台 自由度 调整 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种重载基板台的六自由度调整装置，所述基板台设置在吊框上，其特征在于，包括：
一水平向微调机构，用于实现所述基板台的X、Y和Rz方向调整；
一第一垂向微调机构，用于实现所述基板台的Z、Rx和Ry方向调整；
所述水平向微调机构包括第一微调结构、第二微调结构和第二垂向微调机构，所述第二垂向微调机构位于所述第二微调机构的下方；
所述第一微调机构与所述基板台连接，所述第二微调机构位于所述吊框的下方。
2.如权利要求1所述的六自由度调整装置，其特征在于，所述第一微调机构包括一蜗杆、偏心轮、轴承、蜗轮、轴和手轮，通过手轮驱动主动件蜗杆转动，经过蜗轮蜗杆减速，通过轴承的传动带动偏心轮转动，从而推动基板台实现X、Y和Rz方向调整。
3.如权利要求1所述的六自由度调整装置，其特征在于，所述第二微调机构为一钢珠微调机构。
4.如权利要求1所述的六自由度调整装置，其特征在于，所述第二垂向微调机构为一斜锲式垫铁，所述斜锲式垫铁位于所述第二微调机构的下方。
5.如权利要求3所述的六自由度调整装置，其特征在于，所述第二微调机构包括盖板、滑板、钢珠、保持架和底板。
6.如权利要求1所述的六自由度调整装置，其特征在于，所述第一垂向微调机构为万向调整垫铁，该万向调整垫铁位于所述第一微调机构的下方。
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