[发明专利]常温多层ITO柔性基材单鼓立式连续气相沉积设备系统有效
| 申请号： | 201510430778.0 | 申请日： | 2015-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN105887014B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 庄志杰;周钧;刘战合 | 申请（专利权）人： | 赛柏利安工业技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/56 |
| 代理公司： | 江苏银创律师事务所 32242 | 代理人： | 王纪营 |
| 地址： | 上海市普陀区中江*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 常温 多层 ito 柔性 基材 立式 连续 沉积 设备 系统 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于赛柏利安工业技术（苏州）有限公司，未经赛柏利安工业技术（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510430778.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高效化工反应装置
- 下一篇：交换罐防漩涡装置
- 同类专利
- 专利分类
