[发明专利]铜电镀液在审
| 申请号: | 201510429612.7 | 申请日: | 2015-07-21 |
| 公开(公告)号: | CN104962960A | 公开(公告)日: | 2015-10-07 |
| 发明(设计)人: | 邱永华 | 申请(专利权)人: | 深圳市新富华表面技术有限公司 |
| 主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38 |
| 代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电镀 | ||
1. 一种铜电镀液,其特征在于,由以下组份组成:焦磷酸铜70-90 g/L 、焦磷酸钾300-350 g/L 和氨水2-5 ml/L,余量为去离子水,铜电镀液的pH值:8.5-9.2。
2. 如权利要求1所述的铜电镀液,其特征在于,由以下组份组成:焦磷酸铜70 g/L 、焦磷酸钾300 g/L 和氨水2 ml/L,余量为去离子水,铜电镀液的pH值为8.5。
3. 如权利要求1所述的铜电镀液,其特征在于,由以下组份组成:焦磷酸铜80 g/L 、焦磷酸钾320 g/L 和氨水4 ml/L,余量为去离子水,铜电镀液的pH值为8.8。
4. 如权利要求1所述的铜电镀液,其特征在于,由以下组份组成:焦磷酸铜90 g/L 、焦磷酸钾350 g/L 和氨水5 ml/L,余量为去离子水,铜电镀液的pH值为9.2。
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