[发明专利]图像测量设备及显示测量结果的方法

说明书

本发明涉及图像测量设备及显示测量结果的方法，其中，该图像测量设备被配置为通过照相机拍摄放置在载物台上的测量对象的图像、将所拍摄图像显示在拍摄图像显示画面上并且与所述测量对象的所拍摄图像分开地将基于测量结果的判断结果显示在概要列表中。所述图像测量设备具有：单个判断结果显示区域，其被配置为显示针对各测量位置的单个判断结果；以及总的判断结果显示区域，其被配置为显示针对测量对象单位的总的判断结果。该图像测量设备被配置为将所述单个判断结果和所述总的判断结果一起显示。

技术领域

本发明涉及一种图像测量设备，并且特别涉及图像测量装置或安装了摄像单元的定量显微镜等中优选使用的图像测量设备。该图像测量设备被配置为：通过照相机来拍摄放置在载物台上的测量对象的图像，在拍摄图像显示画面上显示所拍摄图像，并且与所拍摄的测量对象的图像分开地在概要列表中显示基于测量结果的判断结果。

背景技术

诸如在日本专利公开H03-57403号和日本特开2003-139520中所描述的图像测量装置等的典型图像测量装置具有能够记录一次进行的测量过程以及在对具有相同形状的测量对象(也称为工件)进行测量的情况下能够自动地再现所记录的测量过程的部件程序。另外，如日本特开2001-319219中所述，图像测量设备具有公差比较功能，在该公差比较功能中，在已经测量了测量对象之后，将测量值与设计值进行比较，以判断该测量值是否在预定的公差以内。通常，在图像测量装置通过使用部件程序来进行具有相同形状的多个工件的连续测量的情况下，操作者针对各工件执行部件程序并且检验所输出的公差判断结果，以判断工件的质量。

例如，如图1所示，通过在测量结果显示区域中展现测量值和设计值的标记来进行公差比较的判断结果(“OK”(成功)或者“NG”(失败))的显示。然而，由于利用该显示难以获知公差判断结果，因此如日本特开2001-59708中所述，提供了与测量对象的图像分开地在列表中给出判断结果的概要显示。

如图1所示，公差比较的判断结果通常与测量结果一起通过诸如“OK”和“NG”等的文字来显示。因此，操作者难以直观地理解测量结果近似于设计值还是在公差范围的边缘、测量结果是大于还是小于设计值等。

另外，在通过传统图像测量系统进行具有相同形状的工件的连续测量的情况下，为了检验测量结果的变化，需要通过使用图像测量系统中所安装的统计/分析功能或者具有统计/分析功能的外部程序来单独进行各测量结果的解析，这使得操作者难以实时检验测量结果的变化。

因此，操作者难以检验工件的形状中的偏差和变化。例如，即使处理工件的工具存在磨损等并且工件的处理精度随时间而劣化，进行测量的操作者也难以注意到这样的劣化，并且在公差测量结果返回“NG”之前无法检测到该劣化。

发明内容

为解决上述传统问题而构思了本发明，因此将本发明配置为能够在例如使用部件程序对具有相同形状的测量对象进行连续测量期间直观并且容易地将判断结果的详细内容和测量结果的变化通知给操作者。

本发明通过如下的图像测量设备解决上述问题，其中该图像测量设备被配置为使得：通过照相机拍摄放置在载物台上的测量对象的图像，将所拍摄图像显示在拍摄图像显示画面上，并且与测量对象的所拍摄图像分开地将基于测量结果的判断结果显示在概要列表中。如图2所示，该图像测量设备包括：单个判断结果显示区域，其被配置为显示针对各测量位置的单个判断结果；以及总的判断结果显示区域，其被配置为显示针对测量对象单位的总的判断结果。该图像测量设备被配置为将所述单个判断结果和所述总的判断结果一起显示。

这里，在所述总的判断结果显示区域中对测量值相对于判断范围的位置进行模拟显示。

另外，在所述总的判断结果显示区域附近显示当前测量值相对于先前测量值的增减方向。

另外，在所述总的判断结果显示区域的背景中显示表示测量值的变化的趋势图。