[发明专利]图像测量设备及显示测量结果的方法

说明书

本发明涉及图像测量设备及显示测量结果的方法，其中，该图像测量设备被配置为使得通过照相机拍摄放置在载物台上的测量对象的图像、将所拍摄的图像显示在拍摄图像显示画面上、以及与所拍摄的所述测量对象的图像分开地将基于测量结果的判断结果显示在概要列表中。所述图像测量设备包括：选择部，其被配置为选择包括所述概要列表上的判断结果的测量结果；以及突出显示部，其被配置为对所述拍摄图像显示画面上的与所选择的测量结果相对应的测量位置提供突出显示。

技术领域

本发明涉及一种图像测量设备，并且特别涉及图像测量装置或安装了摄像单元的定量显微镜等中优选使用的图像测量设备。该图像测量设备被配置为：通过照相机来拍摄放置在载物台上的测量对象的图像，在拍摄图像显示画面上显示所拍摄图像，并且与所拍摄的测量对象的图像分开地在概要列表中显示基于测量结果的判断结果。

背景技术

诸如在日本专利公开H03-57403号和日本特开2003-139520中所描述的图像测量装置等的典型图像测量装置具有能够记录一次进行的测量过程以及在对具有相同形状的测量对象(也称为工件)进行测量的情况下能够自动地再现所记录的测量过程的部件程序。另外，如日本特开2001-319219中所述，图像测量设备具有公差比较功能，在该公差比较功能中，在已经测量了测量对象之后，将测量值与设计值进行比较，以判断该测量值是否在预定的公差以内。通常，在图像测量装置通过使用部件程序来进行具有相同形状的多个工件的连续测量的情况下，操作者针对各工件执行部件程序并且检验所输出的公差判断结果，以判断工件的质量。

例如，如图1所示，通过在测量结果显示区域中展现测量值和设计值的标记来进行公差比较的判断结果(“OK”(成功)或者“NG”(失败))的显示。然而，由于利用该显示难以获知公差判断结果，因此如日本特开2001-59708中所述，提供了与测量对象的图像分开地在列表中给出判断结果的概要显示。

如图1所示，公差比较的判断结果一般与测量结果一起显示。因此，在改变载物台位置时进行测量的情况下，即使在紧接进行测量之后或者在一个画面内的测量期间判断结果在公差之外并且返回“NG”时，或者由于无法检测边缘、不存在工件、附着碎片、照射水平不充足等导致发生测量失败时，也可以检验原因并且可以重复进行测量。

然而，在需要移动载物台以进行画面之外的测量的情况下或者在存在多个测量位置的情况下，如果测量结束之后发生NG或测量失败，则难以识别测量位置，并且在某些情况下，必须从最初测量开始重复进行测量，以识别测量位置。

发明内容

为解决上述传统问题而构思了本发明，因此将本发明配置为即使在测量结束之后生成了NG的判断结果的情况下或测量失败的情况下，也识别测量位置并容易地对该测量位置进行定位，并且本发明提高了识别NG判断结果的原因以及再次测量时的可操作性。

本发明通过如下的图像测量设备解决上述问题，其中该图像测量设备被配置为通过照相机来拍摄放置在载物台上的测量对象的图像，将拍摄图像显示在拍摄图像显示画面上，并且与测量对象的拍摄图像分开地将基于测量结果的判断结果显示在概要列表中，所述图像测量设备包括：选择部，其被配置为选择包括所述概要列表上的判断结果的测量结果；以及突出显示部，其被配置为对拍摄图像显示画面上的与所选择的测量结果相对应的测量位置提供突出显示。

这里，在具有所述突出显示的测量位置处显示测量结果的详细内容。

另外，在显示测量结果的详细内容期间，能够重复进行测量。

并且，在与所选择的测量结果相对应的测量位置没有位于当前显示的拍摄图像显示画面内的情况下，显示导航信息以使该测量位置显示在拍摄图像显示画面内。

可选地，在与所选择的测量结果相对应的测量位置没有位于当前显示的拍摄图像显示画面内的情况下，使所述载物台和所述照相机彼此相对移动以使该测量位置显示在拍摄图像显示画面内。