[发明专利]带有探测单元和装配辅助件的装置及装配探测单元的方法

说明书

本发明涉及带有探测单元和装配辅助件的装置及装配探测单元的方法，具体而言，涉及一种带有探测单元(2)和装配辅助件(3)的装置，探测单元(2)可利用该装配辅助件(3)绕参考元件(4)的旋转轴线(D)旋转。装配辅助件(3)构造成，在此弹簧般地将探测单元(2)挤压到参考元件(4)处。

技术领域

本发明涉及一种带有探测单元和用于调整该探测单元的装配辅助件的装置。

此外本发明涉及一种用于将位置测量设备的探测单元装配在对象处的方法。

背景技术

位置测量设备尤其地使用在加工机械中以用于测量工具相对于待加工的工件的相对位置，使用在坐标测量机械中以用于获得检验对象的位置和尺寸，以及也使用在半导体工业中例如使用在晶片步进式曝光机(Waferstepper)以及键合机中。在此，将标尺直接安装在驱动单元(例如线性马达)处或者将标尺安装在通过驱动单元驱动的构件处。位置测量设备的探测单元以相对于运动的标尺静止的方式布置在另一机械部件处，该另一机械部件的位置应被测量。

由于对位置测量的分辨率或精度的要求越来越高，在装配时探测单元相对于标尺的精确的关联越来越重要。为了实现这种所需的关联，已经已知不同的措施。

例如，在文献EP 0 397 970 A1中描述了这种类型的探测单元和位置测量设备。为了装配探测单元，设置装配辅助件作为在待测量的对象和探测单元之间的构件。装配辅助件包括销，探测单元可借助于带有偏心的附接部的调整螺钉绕该销旋转或摆动。该装配辅助件的中间连接部(Zwischenschaltung)需要相对多的结构空间。此外，为了达到无间隙的调整，对加工公差的要求很高。

发明内容

因此本发明的目标是，给出一种带有位置测量设备的探测单元和装配辅助件的装置，利用该装置使带有高精度的简单装配成为可能。

该目标通过带有根据本发明的装置实现，该装置带有探测单元和用于调整所述探测单元的装配辅助件，所述装配辅助件构造成，如此将所述探测单元保持在所述装配辅助件处，即使得所述探测单元借助于承载该探测单元的装配辅助件绕参考元件的旋转轴线摆动，其中所述装配辅助件包括这样的部件，即该部件在此将所述探测单元挤压到所述参考元件处，并且所述装配辅助件构造成，该装配辅助件在完成调整之后可从所述探测单元上移除。

此外本发明的目标是，给出一种用于尽可能简单地装配的方法，利用该方法实现在探测单元和标尺之间的关联的所需精度。

该目标通过根据本发明的用于将位置测量设备的探测单元装配在对象处的方法实现，该方法带有以下方法步骤：- 提供带有旋转轴线的参考元件；- 如此使所述探测单元与装配辅助件相连接，即所述装配辅助件将所述探测单元挤压到所述参考元件处；- 通过使承载所述探测单元的装配辅助件绕所述参考元件的旋转轴线摆动，调整所述探测单元；-在已调整的旋转位置中位置固定地将所述探测单元固定在所述对象处；- 从所述探测单元上移除所述装配辅助件。

从在本发明中阐述的措施中得到根据本发明的装置和根据本发明的方法的有利的实施方案。

附图说明

根据以下结合图纸对实施例进行的描述来解释本发明的其它细节和优点。

图1显示了长度测量设备的标尺和探测单元；

图2显示了在第一装配步骤中的探测单元；

图3显示了装配辅助件；

图4显示了在第二装配步骤中的探测单元以及装配辅助件；

图5显示了在已调整的状态中的探测单元；

图6显示了用于实施第一装配步骤的另一可行性；

图7显示了用于利用工具调整探测单元的可行性；