[发明专利]高均匀合成石英玻璃砣的制备方法

权利要求书

1.高均匀合成石英玻璃砣的制备方法，采用立式沉积炉通过化学气相沉积制备，原料通入燃烧器，在沉积炉内发生化学反应，形成二氧化硅颗粒，其特征在于，石英玻璃砣的沉积基底为由底面和侧壁围成的凹形的沉积池，化学气相合成形成的二氧化硅颗粒熔化并在沉积池中自由扩散与沉积，沉积面的温度梯度小于20℃，

所述的原料为四氯化硅蒸气、氢气和氧气；

所述沉积池的侧壁与底面的角度为90°～150°；

所述燃烧器与垂直线的夹角为0°～45°，

所述沉积池的外围设有用于提高石英玻璃沉积砣边缘温度的辅助加热装置。

2.根据权利要求1所述的高均匀合成石英玻璃砣的制备方法，其特征在于，

所述沉积池的侧壁与底面的角度为大于90°小于或等于150°；

所述燃烧器与垂直线的夹角为大于0°小于或等于45°。

3.根据权利要求1所述的高均匀合成石英玻璃砣的制备方法，其特征在于，沉积面温度为1300℃～1800℃。

4.根据权利要求1所述的高均匀合成石英玻璃砣的制备方法，其特征在于，所述沉积池的材质为耐火材料，所述耐火材料为氧化铝、氧化锆或锆石英。

5.根据权利要求1所述的高均匀合成石英玻璃砣的制备方法，其特征在于，所述辅助加热装置的加热方式为电阻丝加热、高温加热棒或氢氧火焰加热方式。

6.根据权利要求1所述的高均匀合成石英玻璃砣的制备方法，其特征在于，所述辅助加热装置与沉积池之间设置一圈炉衬，所述炉衬上具有多个导热通孔，导热通孔的直径为2mm～20mm。

7.根据权利要求6所述的高均匀合成石英玻璃砣的制备方法，其特征在于，所述炉衬采用碳化硅、氮化硅或氧化铝制成。

8.根据权利要求1所述的高均匀合成石英玻璃砣的制备方法，其特征在于，所述燃烧器的个数不超过2个；燃烧器的出口与沉积砣面之间的距离为200mm～400mm,沉积过程中燃烧器出口至沉积面的距离恒定。

9.根据权利要求1所述的高均匀合成石英玻璃砣的制备方法，其特征在于，沉积炉的底部设置1～4个尾气排风口，并采用强制排风装置，使沉积炉膛内产生的尾气有序排出，保证沉积炉膛内气流场的稳定，以及使沉积炉膛内形成微正压，防止外界空气进入沉积炉膛内。