[发明专利]利用静电力对电容式压力传感器的自校准

说明书

技术领域

本公开内容涉及压力传感器的领域，并且更具体地涉及利用一个或多个静电力对压力传感器的校准和再校准。

背景技术

电容式压力传感器使用可移动隔膜和压力空腔来创建可变电容器。可变电容器呈现与由所测量的压力引入的力相对应地变化的电容。对于将传感器单元集成到电子器件中而言，这些传感器单元通常被连接为形成阵列或桥，然而从系统角度而言，这些单元网络仍然像单个传感器那样工作。起初在制造工艺或制造线结束时，通常在所定义的测量条件下校准传感器。该校准以及进一步的再校准可以包括在不同温度下的各种不同压力，这会利用专门的测试设备和明显的测试时间。

发明内容

本申请旨在提供一种改进的对压力传感器的校准方案。

根据本申请实施例的一个方面，提供一种压力传感器校准系统，包括：第一压力传感器，包括第一多个电极和第一薄膜，所述第一薄膜被配置为根据静电力产生从第一位置到第二位置的位移；测量部件，被配置为通过所述第一薄膜根据所述静电力的所述位移并且确定对与在所述第一多个电极处的成组的所施加电压相对应的成组的电容值的测量；以及校准部件，被配置为利用第一压力和从所述成组的电容值的测量得到的一组传感器参数来将所述第一压力传感器校准到一组目标值。

根据本申请实施例的另一方面，提供一种用于校准压力传感器的方法，包括：经由偏置组件，根据一个或多个静电力来生成第一压力传感器的第一薄膜的位移；在第一压力下测量与在第一多个电极处的一组所施加的电压相对应的一组电容值；以及利用所述第一压力和从与所述一组所施加的电压相对应的所述一组电容值得到的一组传感器参数，来将所述第一压力传感器校准到一组目标值。

根据本申请实施例的又一方面，提供一种系统，包括：第一压力传感器，包括第一多个电极和具有第一面积的第一薄膜；其中所述第一薄膜被配置为根据由在所述第一多个电极处的所施加的电压产生的静电电荷来产生位移；以及校准部件，被配置为利用第一压力和从根据所施加的电压对电容值的测量得到的一组传感器参数来将所述第一压力传感器校准到一组目标值。

根据本申请的方案，可以实现利用静电力对压力传感器的自校准。

附图说明

图1是图示根据所描述的各种方面的用于压力传感器的校准和再校准的压力传感器系统的框图。

图2是图示根据所描述的各种方面的用于压力传感器的校准和再校准的另一压力传感器系统的框图。

图3A和图3B是图示根据所描述的各种方面的用于压力传感器的校准和再校准的压力传感器模型的示图。

图4是图示根据所描述的各种方面的用于压力传感器的校准和再校准的压力传感器系统的操作方法的流程图。

图5是图示根据所描述的各种方面的用于压力传感器的校准和再校准的压力传感器系统的另一操作方法的流程图。

图6是图示根据所描述的各种方面的用于压力传感器的校准和再校准的另一压力传感器系统的框图。

图7是图示根据所描述的各种方面的用于压力传感器的校准和再校准的另一压力传感器系统的示图。

图8A和图8B是图示根据所描述的各种方面的用于压力传感器的校准和再校准的压力传感器模型的示图。

图9是图示根据所描述的各种方面的用于压力传感器的校准和再校准的压力传感器系统的操作方法的流程图。

图10是图示根据所描述的各种方面的用于压力传感器的校准和再校准的压力传感器系统的另一操作方法的流程图。

具体实施方式

现在将结合附图描述本发明，其中贯穿整个附图，相同的参考标记用于指代相同的元素，并且其中所图示的结构和设备不一定按比例绘制。如这里所用的，术语“部件”、“系统”、“接口”等旨在于指代计算机相关的实体、硬件、软件(例如，用于执行)和/或固件。例如，部件可以是处理器、在处理器上运行的进程、对象、可执行程序、存储设备和/或具有处理设备的计算机。作为例示，在服务器上运行的应用和服务器也可以是部件。一个或多个部件可以驻留在进程内，并且部件可以被局域化在一个计算机上和/或被分布在两个或多个计算机之间。