[发明专利]一种微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器

权利要求书

1.一种微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，所述气流式角速度传感器由单循环气流式平面双轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片、引线组成，所述的缓冲硅胶片、单循环气流式平面双轴角速度芯片和与其实现电气连接的PCB电路板依次装在底座上，扣上外壳密封，电源和信号经底座上玻璃灌装的引线引出，所述单循环气流式平面双轴角速度芯片包括PET盖板、硅板和PET底座；其中，

所述PET盖板上设置有气流回路；所述硅板上设置有双自由度敏感热线；所述PET底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路；PET盖板、硅板和PET底座依次连接构成所述单循环气流式平面双轴角速度芯片；

所述PET底座的一侧开设有一圆孔，所述圆孔的边缘设置有高度小于PET底座厚度的台阶，所述压电陶瓷振子粘结在所述台阶上；PET底座的另一侧设置有梯形泵槽和若干个凹槽，所述泵槽的上部与所述圆孔的边缘重合相切，泵槽的底部两端设置有两个排气槽，所述泵槽的底部下方设置有下储气槽，所述下储气槽与所述排气槽连通；排气槽相对于下储气槽的对侧设置有两个长方形的下导流槽，所述导流槽的长度方向为PET底座的长度方向；下导流槽与下储气槽的交汇处设置有两个下进口槽；两个下导流槽的末端设置有两个长方形副敏感槽，所述副敏感槽的长度方向为PET底座的宽度方向；两个副敏感槽相交后沿着PET底座的长度方向开设有中心喷口槽，与所述中心喷口槽连通设置有主敏感槽，所述主敏感槽的与下储气槽连通。

2.根据权利要求1述的微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，其特征在于，所述PET盖板的正面与所述PET底座相对应的一侧开有深度一致的凹槽组合，其形状大小及位置完全与PET底座的下储气槽、下导流槽、副敏感槽、主敏感槽、下进口槽一致，分别为上储气槽，上导流槽、上副敏感槽和上主敏感槽、上进口槽。

3.根据权利要求1述的微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，其特征在于，所述台阶的厚度为所述PET底座厚度的1/2。

4.根据权利要求1述的微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，其特征在于，所述下储气槽的深度比所述泵槽的深度浅；所述下导流槽的宽度比下储气槽的宽度大，所述下导流槽的深度与泵槽的深度一致；所述下进口槽的长度与下储气槽的宽度一致；所述副敏感槽的深度与下储气槽的深度一致；所述中心喷口槽的长度与副敏感槽的宽度一致，中心喷口槽的宽度大于其长度，中心喷口槽的深度与下导流槽的深度一致；主敏感槽的宽度为副敏感槽的2倍。

5.根据权利要求1述的微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，其特征在于，所述硅板的长度为PET底座长度的一半，宽度小于PET底座的宽度。

6.根据权利要求5的微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，其特征在于，所述硅板上设置有两对对敏感热线，分别用于敏感X、Y两个方向的角速度，两对敏感热线均平行设置；敏感X方向角速度的一对敏感热线分别设置在所述副敏感槽的上方的硅板上，位于主敏感槽长度方向的1/4处和3/4处；敏感Y方向角速度的一对敏感热线分别设置在所述主敏感槽上方的硅板上，该对敏感热线的径向与主敏感槽宽度方向的轴线平行。

7.根据权利要求6的微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，其特征在于，所述敏感热线由高温度系数的金属钨、SiO2和Si构成。

8.根据权利要求6的微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，其特征在于，所述两对敏感热线分别作为所述PCB电路板中信号处理电路的两个惠斯登电桥的两个臂设置。

9.根据权利要求1所述的微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，其特征在于，所述PET盖板和PET底座均采用PET高精度激光切割成型加工工艺制作；所述硅板采用标准的MEMS工艺制作。