[发明专利]具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作方法

权利要求书

1.具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、基底清洗

利用超声波清洗机对光源收集镜(1)进行超声波清洗、酒精烘干，去除表面污染物；

步骤二、涂胶

在光源收集镜(1)的椭球面(2)上旋涂在曝光光源(6)辐照下能够产生具有抗蚀功能的材料，形成涂层；

步骤三、曝光

搭建曝光光路：沿光轴依次设置曝光光源(6)、扩束器(7)、光源收集镜(1)、曲面半反半透镜(4)和曲面反射镜(5)，所述曲面半反半透镜(4)的焦点和曲面反射镜(5)的焦点分别与光源收集镜(1)的椭球面(2)所在椭球的第一焦点F₁和第二焦点F₂重合，所述曲面半反半透镜(4)与曲面反射镜(5)均能对平行光进行反射形成球面波，所述光源收集镜(1)的椭球面(2)所在椭球的焦距等于曝光光源(6)输出的激光波长四分之一的奇数倍；

通过两相干点光源干涉在光源收集镜(1)的椭球面(2)上形成干涉条纹，使椭球面(2)上的涂层感光来完成曝光：所述曝光光源(6)输出的激光经扩束器(7)扩束后形成平行的入射光(11)，入射光(11)经光源收集镜(1)中间的通孔(8)照射在曲面半反半透镜(4)表面，所述曲面半反半透镜(4)对一部分入射光(11)反射形成第一反射光(13)即第一球面波，对另一部分入射光(11)透射形成透射光(11’)照射在曲面反射镜(5)表面，所述曲面反射镜(5)对透射光(11’)反射形成第二反射光(13’)即第二球面波，所述第一反射光(13)和第二反射光(13’)均照射在光源收集镜(1)的椭球面(2)上；所述第一球面波的球心与曲面半反半透镜(4)的焦点、光源收集镜(1)的第一焦点F₁重合，所述第二球面波的球心与曲面反射镜(5)的焦点、光源收集镜(1)的第二焦点F₂重合，所述第一球面波和第二球面波在光源收集镜(1)的椭球面(2)上发生干涉形成干涉条纹，同时使椭球面(2)上的涂层感光完成曝光；

步骤四、烘烤

将曝光后的光源收集镜(1)放置在烘箱中进行烘烤；

步骤五、显影

采用溶剂清洗光源收集镜(1)，去除光源收集镜(1)的椭球面(2)上未曝光区域的涂层；

步骤六、刻蚀

采用刻蚀液在具有半波带图案的光源收集镜(1)的椭球面(2)上刻蚀掉部分基底，刻蚀厚度为曝光光源(6)输出的激光波长的四分之一；

步骤七、去胶

利用等离子体去胶机去除光源收集镜(1)的椭球面(2)上经曝光后的涂层，使半波带结构露出；

步骤八、镀膜

在具有半波带结构的光源收集镜(1)的椭球面(2)上镀制一层极紫外反射膜，完成具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，步骤二中，在曝光光源(6)辐照下能够产生具有抗蚀功能的材料为感光材料或感热材料；

所述感热材料为热交联计算机直接制版材料，由红外吸收染料、可溶性酚醛树脂、酚醛清漆树脂和鎓盐组成。

3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述曲面半反半透镜(4)和曲面反射镜(5)结构相同，是一种由对CO₂激光透明的材料制成的抛物面镜；所述曲面半反半透镜(4)表面镀有半反半透膜，所述曲面半反半透镜(4)口径大于经扩束器(7)进行扩束的平行光的直径；所述曲面反射镜(5)表面镀有高反膜。

4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，步骤四中，烘烤条件为：100℃下烘烤1min。

5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述曲面半反半透镜(4)与曲面反射镜(5)的放置方式有四种，分别为：所述曲面半反半透镜(4)的第一内表面(9)和曲面反射镜(5)的第二内表面(9’)同时与光源收集镜(1)的椭球面(2)相对；所述曲面半反半透镜(4)的第一外表面(10)和曲面反射镜(5)的第二外表面(10’)同时与光源收集镜(1)的椭球面(2)相对；所述曲面半反半透镜(4)的第一内表面(9)和曲面反射镜(5)的第二外表面(10’)同时与光源收集镜(1)的椭球面(2)相对；所述曲面半反半透镜(4)的第一外表面(10)和曲面反射镜(5)的第二内表面(9’)同时与光源收集镜(1)的椭球面(2)相对。