[发明专利]一步电沉积铜锌硒硫预制层薄膜的溶液及方法在审
申请号: | 201510403790.2 | 申请日: | 2015-07-10 |
公开(公告)号: | CN105040056A | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 张超;李微;纪伟伟;王赫;杭伟;乔在祥 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
主分类号: | C25D3/58 | 分类号: | C25D3/58;C25D5/00 |
代理公司: | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人: | 李凤 |
地址: | 300384 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一步 沉积 铜锌硒硫 预制 薄膜 溶液 方法 | ||
1.一步电沉积铜锌硒硫预制层薄膜的溶液,其特征是:一步电沉积铜锌硒硫预制层薄膜的溶液包括组分为金属盐、硫代硫酸盐、导电盐、羟基酸、硫脲衍生物、稳定剂、光亮剂和溶剂水,各组分含量为:金属盐0.001~0.005mol/L、硫代硫酸盐0.03~0.1mol/L、导电盐0.1~0.4mol/L、羟基酸0.01~0.5mol/L、硫脲衍生物0.01~0.5mol/L、稳定剂1~5g/L,溶液pH值1~6.0;
金属盐为金属Cu盐、金属Zn盐与金属亚Sn盐,其中金属盐为氯化物盐、硫酸盐或硝酸盐;硫代硫酸盐为钠盐或钾盐或两种混合物;导电盐为钠盐、钾盐、锂盐中的一种或两种以上混合物;羟基酸为柠檬酸、酒石酸、苹果酸、甘油酸、乳酸中的一种或几种;硫脲衍生物为硫脲、二甲硫脲、二乙硫脲、乙酰硫脲、氨基硫脲中的一种或两种以上混合物;稳定剂为对苯二酚、间苯二酚、β-苯酚和抗坏血酸中的一种或两种以上混合物。
2.根据权利要求1所述的一步电沉积铜锌硒硫预制层薄膜的溶液,其特征是:一步电沉积铜锌硒硫预制层薄膜的溶液包括组分光亮剂,光亮剂含量为0.01~0.1g/L,光亮剂为山梨酸钠、山梨醇、甲醛、乙醛、甲基磺酸、钾酚磺酸中的一种或两种以上混合物。
3.根据权利要求1或2所述的一步电沉积铜锌硒硫预制层薄膜的溶液,其特征是:溶液pH值为饱和碱性溶液调节至1~6.0。
4.一步电沉积铜锌硒硫预制层薄膜的方法,其特征是:一步电沉积铜锌硒硫预制层薄膜的方法包括以下工艺过程:
1)将配制好的制备CZTS预制层薄膜的溶液放入电镀槽中;2)采用三电极体系,连接电源控制器、参比电极、导电衬底和惰性阳极,将导电衬底和惰性阳极放入溶液中,用盐桥连接参比电极溶液和电沉积溶液;3)接通电源,采用恒电位的方法共沉积Cu、Zn、Sn和S元素;4)取出所沉积的CZTS预制层薄膜,用去离子水冲洗并干燥以备热处理使用。
5.根据权利要求1所述的一步电沉积铜锌硒硫预制层薄膜的方法,其特征是:三电极体系中,铂网作为阳极、玻璃/钼作为衬底电极、饱和甘汞电极为参比电极。
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