[发明专利]一种局部背接触太阳能电池的制备方法

权利要求书

1.一种局部背接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：去除硅片表面损伤层并进行双面抛光、制绒、形成PN结、刻蚀和去杂质玻璃、背面沉积钝化膜、正面沉积钝化减反射层、背面局部开口、丝网印刷正背面金属浆料、烧结；

其中，所述制绒步骤采用金属催化腐蚀法，其绒面结构为纳米级绒面结构。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述去除硅片表面损伤层并进行双面抛光步骤采用酸液或碱液进行，时间为2~20 min，

所述酸液为HNO₃与HF的混合液，或H₂CrO₄与HF的混合液；温度为5~45℃；

在HNO₃与HF的混合液中，HNO₃（69%）/HF（49%）或H₂CrO₄（60%）/HF（49%）体积比大于4:1；

所述碱液为NaOH溶液、KOH溶液或四甲基氢氧化铵溶液；温度为5~95℃；上述碱液的体积浓度大于1%。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：所述去除硅片表面损伤层并进行双面抛光步骤的处理时间为2~10min。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述制绒步骤如下：先将硅片放入含有金属离子的溶液中浸泡，使硅片表面涂覆一层金属纳米颗粒；

然后用化学腐蚀液腐蚀硅片表面，形成纳米级绒面；所述化学腐蚀液为含有氧化剂的氢氟酸溶液。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述含有金属离子的溶液为含有氢氟酸的金属盐溶液。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述制绒步骤如下：将硅片放入含有氧化剂以及金属盐的氢氟酸溶液中，在硅片表面形成纳米级绒面。

7.根据权利要求4或6所述的制备方法，其特征在于，所述溶液中金属离子的浓度大于6E^-5 mol/L。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述制绒和形成PN结步骤之间，还有绒面微结构修正刻蚀步骤，具体如下：将带有绒面的硅片放入化学腐蚀液中进行微结构修正刻蚀；

所述化学腐蚀液选自以下溶液中的一种：NaOH溶液、KOH溶液、四甲基氢氧化铵溶液、酸性氧化剂与HF酸的混合溶液。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于：在所述绒面微结构修正刻蚀步骤之前或之后，还有去除金属颗粒步骤，具体如下：分别用酸液、去离子水清洗硅片，去除金属颗粒。