[发明专利]一种晶体生长过程的加热电源控制方法

权利要求书

1.一种晶体生长过程的加热电源控制方法，其特征在于，在所述晶体的熔料阶段和/或退火阶段，加热电源采用周期脉冲控制；所述周期脉冲控制是指，将所述加热电源的输出功率幅值及脉冲周期固定，通过调节每个脉冲周期内的脉冲占空比控制所述加热电源的每个脉冲周期内的输出功率；

所述脉冲周期内加热电源的功率输出时间t_p通过下式计算得到：

tp=∫t1t2P(t)dtPe;]]>

其中，t2-t1＝Tn，Tn为单位脉冲周期，P(t)为采用直流连续输出方式时所述加热电源在t1至t2时刻的输出功率函数，P_e为所述加热电源在周期脉冲控制模式下的固定输出功率，t_p为加热电源在单位脉冲周期内输出功率的时间。

2.如权利要求1所述的晶体生长过程的加热电源控制方法，其特征在于，随着退火阶段的进行，所述加热电源在单位脉冲周期内输出功率的时间t_p逐渐缩短。

3.如权利要求1所述的晶体生长过程的加热电源控制方法，其特征在于，在熔料阶段初期，晶体炉负载阻抗随温度升高而线性增大阶段，所述加热电源采用恒流限压方式进行功率输出；

在晶体炉负载阻抗稳定后所述加热电源采用周期脉冲控制方式进行功率输出。

4.如权利要求1所述的晶体生长过程的加热电源控制方法，其特征在于，在所述晶体的长晶阶段，所述加热电源采用直流连续输出模式进行控制。