[发明专利]一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工方法

说明书

技术领域

本发明属于精密光学零件加工的技术领域。

背景技术

传统光学加工中，表面出现表面变质层，存在大量微裂纹。电感耦合等离子体加工光学镜片，去除速率高，不产生表面变质层，是一种无亚表层损伤加工方法。由于待加工的光学镜片上道工序为磨削或其他方法，表面存在变质层。电感耦合等离子体加工时会使这些微裂纹逐步打开，导致镜片表面质量严重下降。

发明内容

本发明的目的是提供一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工方法，是为了解决现有电感耦合等离子体加工时，表面些微裂纹逐步打开，镜片表面质量严重下降的问题。

所述的目的是通过以下方案实现的：所述的一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工方法，它的方法步骤为：

步骤一：启动双炬连接组件3上的加工电感耦合等离子体炬1和火抛光电感耦合等离子体炬2，加工电感耦合等离子体炬1通入的工作气体为含氟气体，火抛光电感耦合等离子体炬2通入的气体为不含氟气体；

步骤二：使火抛光电感耦合等离子体炬2的火抛光电感耦合等离子体炬作用区2-1和加工电感耦合等离子体炬1的加工电感耦合等离子体炬作用区1-1都处在被加工件4的上端面上，并使火抛光电感耦合等离子体炬2的火抛光电感耦合等离子体炬作用区2-1位于加工电感耦合等离子体炬1的加工电感耦合等离子体炬作用区1-1运动方向前侧；

步骤三：开始对被加工件4的上表面加工，被加工件4的上表面经过火抛光电感耦合等离子体炬2时，高温的无氟等离子体喷射到被加工件4的上表面，被加工件4吸热，微裂纹发生融化修复作用，形成火抛光电感耦合等离子体炬作用区2-1；被加工件4继续运动，加工电感耦合等离子体炬1对火抛光电感耦合等离子体炬作用区2-1进行去除加工，实现高质量加工。

本发明在对光学镜片加工时，使用火抛光电感耦合等离子体炬预处理，不会产生波纹度误差，部分修复微裂纹，进而使用大气等离子体加工，避免了等离子体加工损伤打开的效果，实现了高质量的光学加工。

本发明与现有的光学零件精密工方法相比，优势在于：

1、本发明所述的方法是基于电感耦合等离子体加工方法，是一种非接触式的化学加工方法，不会引入亚表层损伤；且效率较传统光学精密加工高；

2、该方法引入了电感耦合等离子体火抛光对光学零件表面损伤的修复作用，并结合等离子加工特点，弥补了大气等离子加工扩大微裂纹的缺点，实现高质量加工；

3、该方法中的加工电感耦合等离子体炬与火抛光电感耦合等离子炬的结构相同，通入气体不同；简化了结构设计，降低了成本。

附图说明

图1是本发明方法涉及的装置的整体结构示意图。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图1所示，它的方法步骤为：

步骤一：启动双炬连接组件3上的加工电感耦合等离子体炬1和火抛光电感耦合等离子体炬2，加工电感耦合等离子体炬1通入的工作气体为含氟气体，火抛光电感耦合等离子体炬2通入的气体为不含氟气体；

步骤二：使火抛光电感耦合等离子体炬2的火抛光电感耦合等离子体炬作用区2-1和加工电感耦合等离子体炬1的加工电感耦合等离子体炬作用区1-1都处在被加工件4的上端面上，并使火抛光电感耦合等离子体炬2的火抛光电感耦合等离子体炬作用区2-1位于加工电感耦合等离子体炬1的加工电感耦合等离子体炬作用区1-1运动方向前侧；

步骤三：开始对被加工件4的上表面加工，被加工件4的上表面经过火抛光电感耦合等离子体炬2时，高温的无氟等离子体喷射到被加工件4的上表面，被加工件4吸热，微裂纹发生融化修复作用，形成火抛光电感耦合等离子体炬作用区2-1；被加工件4继续运动，加工电感耦合等离子体炬1对火抛光电感耦合等离子体炬作用区2-1进行去除加工，实现高质量加工。

所述火抛光电感耦合等离子体炬2通入工作气体仅为高纯氩气，施加900W~1500W的功率。