[发明专利]一种复合膜结构聚合物柔性基板及其制作方法

说明书

本发明公开一种复合膜结构聚合物柔性基板及其制作方法，通过对载体基板进行表面处理；在载体基板表面涂覆框架层材料，固化形成框架层主体；在所述框架层主体上制作框架层图案凹槽结构；向所述框架层图案凹槽结构填充溶液型吸气剂，并干燥处理，形成框架层；在所述框架层上涂覆聚合物溶液，干燥处理形成聚合物基板层，并激活溶液型吸气剂的吸气能力；将聚合物基板层和框架层从载体基板上剥离下来，得到复合膜结构聚合物柔性基板；大大提高了柔性基板的水氧阻隔能力。

技术领域

本发明涉及柔性显示装置领域，尤其涉及一种复合膜结构聚合物柔性基板及其制作方法。

背景技术

柔性显示（Flexible Display）技术呈迅猛的态势发展，各种柔性显示发展计划层出不穷；国内外各高校和研究机构纷纷投入大量人力物力抢占柔性显示技术高峰，大量技术突破公开发表在各大科技刊物上，各种实验室柔性显示样机也陆续被报道在新闻媒体上；各个显示厂商均争先布局，竞争遍布在技术难点、制造规模、显示器尺寸、高分辨率、可穿戴式设备等。随着各种制作工艺和技术的不断进步，柔性显示器不仅显示质量上不断提高、屏幕尺寸不断增大，而且显示器形态也不断革新。三星公司推出全球首款曲面屏幕手机Galaxy Round，LG公司上市自己的首款曲屏手机LG G FLEX，与此同时更有报道称苹果公司将在下一代iPhone中首次使用5.5英寸曲面屏幕；为了扩大技术优势，三星、LG等显示大厂更是推出了的大尺寸曲面电视屏幕，令业界为之赞叹，可见柔性显示技术发展前景可观。

目前，柔性显示产品的制备方法主要分为两类：第一类是采用R2R（roll to roll）生产工艺，通过印刷的方式直接在柔性基板上制备显示器件，但是由于受到印刷技术和显示墨水材料的限制，达不到高精度显示的要求，且良品率低、可靠性差。第二类是采用S2S（sheet to sheet）生产工艺，结合柔性基板贴附后剥离的方法，先将柔性基板贴附在硬质载体基板上制备显示器件，制备完显示器件之后再剥离硬质基板，取出柔性显示器件。这种方法不影响显示器件的制作精度，且制作设备和工艺与制作传统的TFT-LCD相仿，不必做太大的调整，因此短期内更接近于量产应用。

S2S的生产方式要采用粘接剂将柔性衬底贴附在载体基板上，限制于柔性基板和粘接剂的耐温性能，这种做法更多用于低温TFT工艺，无法满足高温TFT工艺要求。高温工艺可以得到更好的TFT性能，符合高分辨率显示要求，但是工艺过程中既要保证柔性衬底与载体的粘接性，不受TFT工艺中清洗、曝光、显影、刻蚀等过程的影响，又需要在器件制备完成后，方便柔性显示器件与载体基板的分离。

但是，柔性基板材料一般选择有机高分子聚合物材料如PET、PEN、PI等，这些高分子聚合物材料的结构比较疏松，对水汽、氧气的透过性很好，而OLED显示器、QD量子点显示器等器件结构中有机发光材料对水汽十分敏感，容易造成器件性能衰退甚至失效，严重影响器件的使用寿命，因此，有机高分子聚合物材料作为柔性基板材料需要额外制作水氧阻隔层。

通常采用CVD、PECVD、ALD等设备沉积无机薄膜作为柔性基板的水氧阻隔层，虽然水氧阻隔性能良好，但是制作成本高、效率低，同时无机薄膜较脆，经过多次反复的弯折后无机薄膜会碎裂，导致阻隔性能严重下降。现有沉积的方式制作的无机薄膜容易在柔性基板弯折过程中裂开，形成缺陷，水汽、氧气便沿着缺陷往里渗透，水氧阻隔能力低。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

发明内容

鉴于上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种复合膜结构聚合物柔性基板及其制作方法，旨在解决现有的柔性基板水氧阻隔能力不高的问题。

本发明的技术方案如下：

一种复合膜结构聚合物柔性基板制作方法，其中，包括：

A、对载体基板进行表面处理；

B、在载体基板表面涂覆框架层材料，固化形成框架层主体；