[发明专利]蓝宝石衬底晶片清洗液

权利要求书

1.一种蓝宝石衬底晶片清洗液，其特征在于，由以下重量份数的组分制成：去离子水75-85份、表面活性剂4-6份、纳米碳化钛1.5-2.5份、二甲基酮肟4-6份、纯碱2-4份、大豆分离蛋白4-6份、蛭石粉1-2份、壬二酸4-6份、紫甘薯花青素4-6份、茶叶提取物1.5-2.5份、乙二醇0.4-0.6份、乙酸异戊酯3-5份、羟丙基-β-环糊精1.5-2.5份、叔丁醇5-15份；

所述表面活性剂是由以下重量份数的组分制成：石墨烯微片5份、尿素0.2份、硬脂酸0.5份、丙酮20份、荆芥油0.1份、二乙氨基乙醇0.5份、肉桂醛二乙缩醛3份；制备时，将原料一同送入反应釜中，在温度为40℃的釜温下连续搅拌40分钟制得表面活性剂。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底晶片清洗液，其特征在于，由以下重量份数的组分制成：上述石墨烯微片是以立体的蜂窝方式长晶生成，生成后石墨碳晶体利用湿式纳米研磨方式，以单一方向研磨,产生厚度为纳米化，面积为微米化的石墨烯微片。

3.一种制备权利要求1所述蓝宝石衬底晶片清洗液的方法，其特征在于，方法步骤如下：

1)分别称取上述各自重量份的各种组分；

2)将去离子水、叔丁醇加入到搅拌釜中，然后顺次加入纯碱、大豆分离蛋白、纳米碳化钛及蛭石粉搅拌至均匀；

3)向步骤2)中的均匀混合物中顺次加入表面活性剂、乙二醇、乙酸异戊酯、羟丙基-β-环糊精、二甲基酮肟、壬二酸、紫甘薯花青素及茶叶提取物，搅拌均匀，即得所述蓝宝石衬底晶片清洗液。