[发明专利]蒸镀机用晶圆固定装置在审
| 申请号： | 201510387415.3 | 申请日： | 2015-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN105002472A | 公开（公告）日： | 2015-10-28 |
| 发明（设计）人： | 李文涛;王剑;杨亮;时文礼 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L21/687 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李阳 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀机用晶圆 固定 装置 | ||
1.一种蒸镀机用晶圆固定装置，包括一呈半球状的支架(5)，该支架(5)上间隔开设有若干个通孔(6)，其特征在于：每个通孔上固设有一晶圆环(7)，该晶圆环的内圈形成供放置晶圆的环形凹台(701)，且晶圆环外圈(702)上间隔定位设有若干个能够绕其固定点转动的弹性固定部件(8)，该弹性固定部件上形成有压件(801)，所述压件弹性抵压式作用于晶圆表面的圆周边缘以使晶圆相对环形凹台固定。
2.根据权利要求1所述的蒸镀机用晶圆固定装置，其特征在于：所述晶圆环(7)通过螺纹连接件固定于通孔(6)处，且所述晶圆环外圈(702)的外径大于通孔(6)的直径，晶圆直径大于晶圆环环形凹台(701)的内径且晶圆直径小于晶圆环外圈(702)的内径。
3.根据权利要求1所述的蒸镀机用晶圆固定装置，其特征在于：所述晶圆环(7)上均匀间隔形成有若干个定位平台(703)，该定位平台的上表面低于所述环形凹台(701)的上表面，所述弹性固定部件(8)枢接式定位设置于该定位平台上。
4.根据权利要求1所述的蒸镀机用晶圆固定装置，其特征在于：所述弹性固定部件(8)还包括固定部(802)，该固定部和所述压件(801)为一体式结构。
5.根据权利要求3或4所述的蒸镀机用晶圆固定装置，其特征在于：设有枢接轴(9)，该枢接轴(9)穿设过弹性固定部件的固定部(802)并可拆卸式固定于所述定位平台(703)上，所述弹性固定部件(8)能够绕该枢接轴在定位平台上转动。
6.根据权利要求4所述的蒸镀机用晶圆固定装置，其特征在于：所述弹性固定部件(8)为金属弹片、弹簧金属丝和弹性顶针中的一种。
7.根据权利要求6所述的蒸镀机用晶圆固定装置，其特征在于：所述金属弹片呈反Z型结构，该反Z型结构的底边朝向晶圆环中心延伸形成压件(801)，该反Z型结构的顶边背向晶圆环中心斜向下延伸形成固定部(802)。
8.根据权利要求6所述的蒸镀机用晶圆固定装置，其特征在于：所述压件(801)弹性抵压式作用于晶圆表面的圆周边缘时，该压件与晶圆表面圆周边缘的接触长度为1.5～2.5mm。
9.根据权利要求1所述的蒸镀机用晶圆固定装置，其特征在于：所述弹性固定部件(8)为3～8个。
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