[发明专利]基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别方法及系统

权利要求书

1.基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别方法，其特征在于，该方法具体包括以下步骤：

步骤a、根据玻璃界面处沿深度方向的OCT复解析信号与标准单一反射界面所产生的OCT复解析信号的差异，确定玻璃缺陷的边界图，

步骤b、根据玻璃的OCT复解析信号的相位重构玻璃表面形貌图，

步骤c、 对比玻璃缺陷的边界图和玻璃表面形貌图，从而识别玻璃缺陷是真缺陷或者伪缺陷。

2.如权利要求1所述的基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别方法，其特征在于，所述步骤a包括：将一个横向位置上的玻璃界面处沿深度方向的OCT复解析信号与标准单一反射界面所产生的复解析信号相减、得到差值，将所述差值取模求和，如果所述和大于阈值，则所述横向位置是缺陷边界，如果所述和小于所述阈值，则所述横向位置不是缺陷边界，将多个横向位置上的缺陷边界按照横向位置排列，得到玻璃缺陷的边界图。

3.如权利要求2所述的基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别方法，其特征在于，所述阈值根据噪声水平和/或玻璃粗糙度确定。

4.如权利要求1所述的基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别方法，其特征在于，所述步骤b包括：将一次扫描获得的二维OCT复解析信号中的沿玻璃界面处的一行相位信号沿横向解包裹，将所述解包裹的相位信号减去线性拟合信号，得到所述扫描的位置的玻璃表面形貌，将多次扫描的位置的玻璃表面形貌按照扫描顺序拼接，得到玻璃表面形貌图。

5.如权利要求1所述的基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别方法，其特征在于，所述步骤c包括：如果在所述玻璃表面形貌图中，与所述边界图中的边界之外的区域对应的区域存在突起或者凹陷，则所述边界包围的缺陷是真缺陷；如果在所述玻璃表面形貌图中，与所述边界图中的边界之外的区域对应的区域不存在突起或者凹陷，则所述边界包围的缺陷是伪缺陷。

6.基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别系统，其特征在于：该系统包括：宽带光源，光束整形模块，用于接收所述光源发出的光，并输出整形光束，分束器，用于将所述整形光束分成第一光束和第二光束，参考臂模块，用于将所述第一光束聚焦在参考反射镜上，并使所述参考反射镜反射的光返回所述分束器，样品臂模块，用于将所述第二光束聚焦在玻璃上，并使所述玻璃反射的光返回所述分束器，其中，所述参考反射镜反射的光和所述玻璃反射的光形成干涉光，成像光谱仪模块，用于接收所述干涉光，形成干涉光谱信号并进行光电转换，以及数据采集及处理模块，用于接收所述光电转换的干涉光谱信号；边界图单元，用于根据玻璃界面处沿深度方向的干涉复解析信号与标准单一反射界面所产生的干涉复解析信号的差异，确定玻璃缺陷的边界图，形貌图单元，用于根据玻璃的干涉复解析信号的相位重构玻璃表面形貌图，识别单元，用于对比玻璃缺陷的边界图和玻璃表面形貌图，从而识别玻璃缺陷是真缺陷或者伪缺陷。

7.如权利要求6所述的基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别系统，其特征在于，所述光束整形模块包括：光纤准直器，用于接收所述光源发出的光，并输出准直光束，以及第一柱面透镜，用于接收所述准直光束，并输出柱面波光束。

8.如权利要求6所述的基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别系统，其特征在于，所述参考臂模块包括：第二柱面透镜，用于接收所述第一光束，输出准直光束，以及第一物镜，用于将所述准直光束聚焦在参考反射镜上。

9.如权利要求6所述的基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别系统，其特征在于，所述样品臂模块包括：第二物镜，用于将所述第二光束聚焦在玻璃上。

10.如权利要求6所述的基于OCT复信号的玻璃表面真伪缺陷识别系统，其特征在于，所述成像光谱仪模块包括：衍射光栅，用于将干涉光分解为干涉谱信号，以及面阵相机，用于探测所述干涉谱信号并对所述干涉谱信号进行光电转换。