[发明专利]一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法有效

专利信息
申请号: 201510375588.3 申请日: 2015-06-30
公开(公告)号: CN105047573B 公开(公告)日: 2018-07-17
发明(设计)人: 石磊 申请(专利权)人: 通富微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L23/488
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 何青瓦
地址: 226004 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 焊锡 半导体封装 打线工艺 半导体封装件 防腐蚀 半导体封装芯片 涂覆保护层 塑封材料 助焊剂 良率 焊接 填充 裸露 清洗 腐蚀 覆盖
【权利要求书】:

1.一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

1)提供一完成焊接的半导体封装件;

2)对所述半导体封装件的焊锡涂覆保护层,将焊锡裸露面覆盖起来,所述保护层为油墨、薄膜、蜡膜中的一种,所述薄膜为有机硅胶,所述保护层的厚度为15-120μm;

3)对所述半导体封装件进行清洗,除去多余的助焊剂;所述清洗方法为等离子体清洗或紫外-臭氧清洗,所述等离子体清洗使用的等离子气体为85%的氩气和15%的氧气;

4)填充塑封材料。

2.根据权利要求1所述的一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于:所述对半导体封装件的焊锡涂覆保护层包括:

利用喷枪对所述焊锡进行涂覆以形成所述保护层,所述喷枪的喷嘴口径为0.5mm-1.0mm。

3.根据权利要求1所述的一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于:所述对半导体封装件的焊锡涂覆保护层包括:

利用毛刷对所述焊锡进行涂覆以形成所述保护层,所述毛刷的直径为0.5mm-2mm,所述毛刷的刷毛直径为0.01mm-0.05mm。

4.根据权利要求1所述的一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于:所述油墨为UV油墨;所述对半导体封装件的焊锡涂覆保护层还包括:

将所述UV油墨覆盖焊锡后,进行紫外灯光照射以形成所述保护层,照射时间为3-10分钟。

5.根据权利要求1所述的一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于:所述薄膜为有机硅胶;所述对半导体封装件的焊锡涂覆保护层还包括:

将所述有机硅胶覆盖焊锡后,于空气中静置5-10分钟形成所述保护层。

6.根据权利要求1所述的一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于:所述蜡膜由防护蜡形成,所述防护蜡的成分为:石蜡20-50%,硬脂酸5-10%,三乙醇胺15-20%,余量为乙醇;所述对半导体封装件的焊锡涂覆保护层还包括:

将所述防护蜡加热到40℃以进行涂覆,涂覆盖焊锡后,在常温下静置30分钟得到所述蜡膜。

7.根据权利要求1所述的一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于:所述保护层为双丙酮丙烯酰胺和己二酸二酰肼的混合体,所述己二酸二酰肼的含量占混合物总重量的1.5%,所述对半导体封装件的焊锡涂覆保护层还包括:

将所述双丙酮丙烯酰胺和己二酸二酰肼的混合物涂覆盖焊锡后,于空气中静置10-20分钟形成所述保护层。

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