[发明专利]一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法有效
申请号: | 201510375588.3 | 申请日: | 2015-06-30 |
公开(公告)号: | CN105047573B | 公开(公告)日: | 2018-07-17 |
发明(设计)人: | 石磊 | 申请(专利权)人: | 通富微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/488 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 226004 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 焊锡 半导体封装 打线工艺 半导体封装件 防腐蚀 半导体封装芯片 涂覆保护层 塑封材料 助焊剂 良率 焊接 填充 裸露 清洗 腐蚀 覆盖 | ||
1.一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
1)提供一完成焊接的半导体封装件;
2)对所述半导体封装件的焊锡涂覆保护层,将焊锡裸露面覆盖起来,所述保护层为油墨、薄膜、蜡膜中的一种,所述薄膜为有机硅胶,所述保护层的厚度为15-120μm;
3)对所述半导体封装件进行清洗,除去多余的助焊剂;所述清洗方法为等离子体清洗或紫外-臭氧清洗,所述等离子体清洗使用的等离子气体为85%的氩气和15%的氧气;
4)填充塑封材料。
2.根据权利要求1所述的一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于:所述对半导体封装件的焊锡涂覆保护层包括:
利用喷枪对所述焊锡进行涂覆以形成所述保护层,所述喷枪的喷嘴口径为0.5mm-1.0mm。
3.根据权利要求1所述的一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于:所述对半导体封装件的焊锡涂覆保护层包括:
利用毛刷对所述焊锡进行涂覆以形成所述保护层,所述毛刷的直径为0.5mm-2mm,所述毛刷的刷毛直径为0.01mm-0.05mm。
4.根据权利要求1所述的一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于:所述油墨为UV油墨;所述对半导体封装件的焊锡涂覆保护层还包括:
将所述UV油墨覆盖焊锡后,进行紫外灯光照射以形成所述保护层,照射时间为3-10分钟。
5.根据权利要求1所述的一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于:所述薄膜为有机硅胶;所述对半导体封装件的焊锡涂覆保护层还包括:
将所述有机硅胶覆盖焊锡后,于空气中静置5-10分钟形成所述保护层。
6.根据权利要求1所述的一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于:所述蜡膜由防护蜡形成,所述防护蜡的成分为:石蜡20-50%,硬脂酸5-10%,三乙醇胺15-20%,余量为乙醇;所述对半导体封装件的焊锡涂覆保护层还包括:
将所述防护蜡加热到40℃以进行涂覆,涂覆盖焊锡后,在常温下静置30分钟得到所述蜡膜。
7.根据权利要求1所述的一种半导体封装打线工艺中焊锡防腐蚀的处理方法,其特征在于:所述保护层为双丙酮丙烯酰胺和己二酸二酰肼的混合体,所述己二酸二酰肼的含量占混合物总重量的1.5%,所述对半导体封装件的焊锡涂覆保护层还包括:
将所述双丙酮丙烯酰胺和己二酸二酰肼的混合物涂覆盖焊锡后,于空气中静置10-20分钟形成所述保护层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造