[发明专利]MEMS麦克风组件

说明书

相关申请的交叉引用

本专利要求于2014年6月5日提交的名称为“MicrophoneAssembly”的美国临时申请No.62008308的优先权，通过引用将其内容全部并入本文中。

技术领域

本申请涉及微机电麦克风以及，更具体地说，涉及改进这些设备的性能特征。

背景技术

作为两个示例，微机电系统(MEMS)设备包括麦克风和扬声器。在MEMS麦克风的情况下，声能量通过声端口进入并振动隔膜(diaphragm)，该行为产生了隔膜和设置在隔膜附近的背板之间的电势(电压)的相应变化。该电压表示已经接收的声能量。典型地，然后将该电压传送至电子电路(例如，诸如专用集成电路(ASIC)的集成电路)。可在该电子电路上执行对信号的进一步处理。例如，可在该集成电路处对电压信号执行放大或滤波功能。

通常期望使MEMS设备尽可能小。例如，通常期望诸如个人电脑、蜂窝电话和个人数字助理的设备具有尽可能小的尺寸。然而，由于以前的MEMS设备(例如麦克风)的配置，所以存在对其尺寸的特定限制。因此，设置有MEMS的设备的尺寸减少量也受到限制。

由于这些缺陷，所以以前的方法没有充分地解决上述问题，并且用户对这些以前的方法的不满意度已经增加。

发明内容

本发明实施方式的一个方面提供了一种麦克风组件，其包括：

基板，其具有大体矩形的顶面，所述顶面包括具有基板宽度的第一边和具有基板长度的第二边，所述基板长度大于所述基板宽度；

微机电系统MEMS裸片，该MEMS裸片具有形状大体为矩形的底面，所述底面包括具有裸片长度的第三边和具有裸片宽度的第四边，所述裸片长度大于所述裸片宽度，所述MEMS裸片的所述底面与所述基板的所述顶面相接触；

其中，所述MEMS裸片布置在所述基板上以使得所述裸片的所述第三边与所述基板的所述第一边平行，从而使得至少一个集成电路可安装在所述基板的顶面中未被所述MEMS裸片占用的区域内。

附图说明

为了更完整地理解本公开，应当参考以下详细说明和附图，其中：

图1包括了根据本发明不同实施方式的MEMS设备的立体分解图；

图2包括了根据本发明不同实施方式的图1的经组装的MEMS设备的顶部剖视图；

图3包括了根据本发明不同实施方式的图1和图2的MEMS设备的侧视图；

图4包括了根据本发明不同实施方式的图1-4的MEMS设备的基板的底部的视图；

图5包括了根据本发明不同实施方式的图1-5的经组装的MEMS设备的侧视图。

本领域技术人员将会意识到附图中的元件是为了简洁和清楚而进行举例说明。还将意识到可以按照发生的特定顺序对某些行为和/或步骤进行说明或描绘，然而本领域技术人员将理解到这些关于顺序的规定实际上不是必需的。还将理解到在本文中使用的术语和表达具有普通意义，正如关于其相应查询和研究领域的那些术语和表达，除非已经在本文中另外阐述了特定含义。

具体实施方式

本方法以预定的方式或位置在MEMS基板上设置MEMS裸片(die)，以实现并获得MEMS设备(例如MEMS麦克风)的尺寸优势。在一个方面，MEMS基板可具有一个长尺寸和一个短尺寸。例如具有两个隔膜/背板(电动机)结构的MEMS裸片还可具有一个长尺寸和一个短尺寸。MEMS裸片被布置在基板上以使得MEMS裸片的长尺寸与基板的长尺寸平行或近似平行(不垂直)。然后可选择集成电路以安装在这种类型的封装(footprint)结构内。这样做时，可以减小基板的短尺寸(在一个示例中，从大约3mm减小到大约2mm)，从而减小了MEMS设备(例如MEMS麦克风)的尺寸。因为减小了MEMS设备的尺寸，所以针对其中设置有MEMS设备的设备(例如蜂窝电话或个人计算机)可以获得更小的尺寸。在一个示例中，MEMS麦克风为大约4mm乘2mm。其他尺寸是可能的。

相对窄小的尺寸使得MEMS麦克风可以用于许多应用中。同时，使用鲁棒的双电动机MEMS裸片。从而，小的MEMS设备可用于需要其的应用，而没有舍弃组成麦克风的MEMS组件的性能。