[发明专利]基于偏振光成像技术的检测方法

权利要求书

1.一种基于偏振光成像技术的检测方法，应用于待检测物表面瑕疵检测，其特征在于，包括如下步骤，

步骤S1、于三个预定角度通过一光强度成像装置获取所述待检测物表面的光强度参量；

步骤S2、于三个所述预定角度通过一偏振光成像检测系统获取所述待检测物表面图像，形成三个光强度不同的所述表面图像输出；

步骤S3、一计算单元根据三个光强度不同的所述表面图像结合所述光强度参量获取Stokes参量和偏振度参量P；

步骤S4、将所述表面图像分成若干个小图像，根据所述Stokes参量和偏振度参量P计算每个所述小图像的平均能量值，

步骤S5、选取平均能量值最高的所述小图像为待融合图像；

步骤S6、对所述待融合图像的光强度参量I和偏振度参量P进行小波分解，分别获取所述待融合图像的光强度参量I的低频系数、光强度参量I的高频系数、偏振度参量P的低频系数、偏振度参量P的高频系数；

步骤S7、根据所述光强度参量I的低频系数、光强度参量I的高频系数、偏振度参量P的低频系数、偏振度参量P的高频系数获取待融合的低频系数、待融合的高频系数，

步骤S8、根据所述待融合的高频系数和所述待融合的低频系数进行图像重构，获取融合图像；

步骤S9、对融合图像进行瑕疵检测。

2.根据权利要求1所述的基于偏振光成像技术的检测方法，其特征在于，三个预定角度分别定义为α1、α2、α3；三个光强度参量分别形成I₀(α1)、I₀(α2)、I₀(α3)，其中I₀(α1)为α1偏振方向获取的所述待检测物表面的光强度参量，I₀(α2)为α2偏振方向获取的所述待检测物表面的光强度参量，I₀(α3)为α3偏振方向获取的所述待检测物表面的光强度参量。

3.根据权利要求2所述的基于偏振光成像技术的检测方法，其特征在于，于所述步骤S3中，其中，所述Stokes参量的计算公式为：

I=23(Io(α1)+Io(α2)+Io(α3))Q=23(2Io(α1)-Io(α2)-Io(α3))U=23(Io(α2)-Io(α3))V=0]]>

其中，I为光强度参量，Q为第一偏振参量，U为第二偏振参量，V为圆偏振参量，由于在自然光中V较小，取值为零；

所述偏振度参量P的计算公式为：

P=Q2+U2I]]>

其中，P为偏振度参量。