[发明专利]一种用于双波长激光加工的F‑θ光学镜头

权利要求书

1.一种用于双波长激光加工的F-θ光学镜头，包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜，第二透镜，第三透镜，其中，第一透镜为凹凸型负透镜，第二透镜为双凸型正透镜，其特征在于：所述第三透镜为凹凸型负透镜，所述双波长激光为波长为500nm～550nm之间的激光和波长为1000nm～1100nm之间的激光；所述第一透镜和第三透镜的光入射面和光出射面均弯向光线传输方向。

2.如权利要求1所述的双波长激光加工F-θ光学镜头，其特征在于，所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面，所述第二透镜包括第三曲面和第四曲面，所述第三透镜包括第五曲面和第六曲面：

所述第一曲面和第二曲面的曲率半径范围分别为-45mm～-50mm、-65mm～-70mm；

所述第三曲面和第四曲面的曲率半径范围分别为1800mm～3500mm、-85mm～-90mm；

所述第五曲面和第六曲面的曲率半径范围分别为-75mm～-80mm、-125mm～-130mm。

3.如权利要求1所述的双波长激光加工F-θ光学镜头，其特征在于，

所述第一透镜的中心厚度范围为20mm～25mm；

所述第二透镜的中心厚度范围为10mm～15mm；

所述第三透镜的中心厚度范围为3mm～8mm。

4.如权利要求1所述的双波长激光加工F-θ光学镜头，其特征在于，

所述第一透镜的折射率范围为1.7～1.8，阿贝数范围为50～60；

所述第二透镜的折射率范围为1.7～1.8，阿贝数范围为50～60；

所述第三透镜的折射率范围为1.9～2.0，阿贝数范围为15～25。

5.如权利要求1所述的双波长激光加工F-θ光学镜头，其特征在于，

所述第一透镜与第二透镜在光轴上的间距范围为2mm～5mm；

所述第二透镜与第三透镜在光轴上的间距范围为13mm～18mm。

6.如权利要求1所述的双波长激光加工F-θ光学镜头，其特征在于，在所述第三透镜的出光侧进一步设有平板保护玻璃，平板保护玻璃的厚度为0.5mm～10mm，所述平板保护玻璃与所述第三透镜在光轴上的间距为1mm～20mm。