[发明专利]一种甲基苯并三唑衍生物类铜缓蚀剂及其制备方法在审
| 申请号： | 201510348750.2 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104911603A | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 李少林;徐冬冬;谭金平 | 申请（专利权）人： | 广州米奇化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/14 | 分类号： | C23F11/14 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 赵赛 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 甲基 衍生 物类 铜缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种甲基苯并三唑衍生物类铜缓蚀剂，其特征在于，由甲基苯并三唑、二乙醇胺和甲醛制备而成，所述甲基苯并三唑、二乙醇胺、甲醛的摩尔比为(1-1.5)：1：(1-1.5)。
2.根据权利要求1所述的甲基苯并三唑衍生物类铜缓蚀剂，其特征在于，由甲基苯并三唑、二乙醇胺和甲醛制备而成，所述甲基苯并三唑、二乙醇胺、甲醛的摩尔比为(1-1.1)：1：(1-1.1)。
3.根据权利要求1所述的甲基苯并三唑衍生物类铜缓蚀剂，其特征在于，所述甲基苯并三唑为4-甲基-1氢-苯并三唑、5-甲基-1氢-苯并三唑中的一种或者两种的混合。
4.根据权利要求1所述的甲基苯并三唑衍生物类铜缓蚀剂，其特征在于，所述甲醛来源于质量浓度为37-40％的甲醛溶液。
5.一种如权利要求1所述的甲基苯并三唑衍生物类铜缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)原料混合：按上述摩尔比的甲基苯并三唑、二乙醇胺和甲醛，置于在反应容器中进行混合；
(2)缩合反应：将步骤(1)得到的混合原料，边搅拌边升温至85-110℃，保温反应3-10小时；
(3)降温，得到产品。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中保温反应的温度为100-106℃。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述保温反应的时间为4-7小时。
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