[发明专利]基于单声光调制和消偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪

权利要求书

1.一种基于单声光调制和消偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪，由激光器(1)、消偏振分光镜(2)、四分之一波片(3)、测量角锥棱镜(4)、声光调制器(5)、光束折转元件(6)、参考角锥棱镜(7)、高速光电探测器(8)组成，其特征在于：所述激光器(1)发出线偏振光，经消偏振分光镜(2)进行分光，反射光形成第一光束(9)作为测量光，透射光形成第二光束(10)作为参考光；第一光束(9)经过四分之一波片(3)后变成圆偏振光，经测量角锥棱镜(4)反射后再次经过四分之一波片(3)变成线偏振光，然后经消偏振分光镜(2)透射形成第三光束(12)；第二光束(10)经过声光调制器(5)产生衍射光束(11)，衍射光束(11)经光束折转元件(6)调整后，光束传播方向平行于第二光束(10)，经参考角锥棱镜(7)反射后，再经消偏振分光镜(2)反射形成第四光束(13)；第三光束(12)、第四光束(13)光路重合、且偏振方向相同；第三光束(12)、第四光束(13)发生干涉，被高速光电探测器(8)接收。

2.根据权利要求1所述的基于单声光调制和消偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪，其特征在于：所述光束折转元件(6)为平面反射镜或楔形块。

3.根据权利要求1所述的基于单声光调制和消偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪，其特征在于：所述声光调制器(5)的一级衍射光与入射光偏振正交。

4.根据权利要求1所述的基于单声光调制和消偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪，其特征在于：所述激光器(1)为稳频激光器。