[发明专利]基板移送装置

权利要求书

1.一种基板移送装置，其特征在于，包含：

输送皮带(20)，以使基板从第1位置空间部(A)往第2位置空间部(B)移送的方式架设于多个第1固定旋转体(10)并进行旋转移动；

皮带旋转驱动部，配置于该第1位置空间部(A)与第2位置空间部(B)之间，形成为在将该输送皮带(20)的载置该基板的上部皮带往下方压下时与该上部皮带对应的下部皮带也同时下降，而且，在将该下部皮带往上方压升时该上部皮带也同时上升，包含：装设成在与下部皮带的外侧抵接的状态下使该下部皮带上升或下降的下部侧按压部(40)，该皮带旋转驱动部进而包含：上部侧按压部(30)，配置在该下部侧按压部(40)的上方且该上部皮带的外侧，将该上部皮带往该下部侧按压部(40)侧按压，该下部侧按压部(40)与该上部侧按压部(30)在垂直方向位于同一直线，且装设成该下部侧按压部(40)与该上部侧按压部(30)呈一体地移动；

以及多个第2固定旋转体(60)，与进行升降动作的该下部侧按压部(40)呈交错状连结，以抵接并架设于该下部皮带内侧的方式在同一条线上隔着一定间隔配置，且装设成在该皮带旋转驱动部的下降及上升时移动被固定，并依据该上部皮带及下部皮带的下降及上升距离而旋转。

2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于其中，该皮带旋转驱动部，包含升降部，该升降部由汽缸、滚珠螺杆或线性马达中任一者构成。

3.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于其中，该下部侧按压部(40)及上部侧按压部(30)为辊子。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板移送装置，其特征在于其具有使该输送皮带(20)的旋转移动停止的制动器。

5.根据权利要求4所述的基板移送装置，其特征在于其中，该制动器，分别装设在该输送皮带(20)上的该第1位置空间部(A)及该第2位置空间部(B)。

6.根据权利要求3所述的基板移送装置，其特征在于其中，该下部侧按压部(40)及该上部侧按压部(30)，在分别相互对应的位置在水平方向装设两个以上的辊子。