[发明专利]一种蓝宝石摄像头窗口片的生产方法

权利要求书

1.一种蓝宝石摄像头窗口片的生产方法，其特征在于，包括以下具体步骤：

步骤一、晶体掏棒；取A向、M向或C向的蓝宝石晶体，然后使用掏棒机进行掏棒，从而得到晶棒；

步骤二、晶体切割；采用金刚砂线切割设备对晶棒进行切割，从而得到晶片；

步骤三、研磨；采用研磨机对晶片进行研磨；研磨时，加入研磨液，研磨盘对晶片加压至0.02～0.022Mpa，研磨盘的转速为1000～1200r/min；研磨完成后用无水乙醇清洗；所述研磨液组分包括：0.5～2％的颗粒大小为10～20μm的立方氮化硼粉末，14～16％的烷基酚聚氧乙烯醚，4～6％的甘油，9～11％的聚丙二醇400，其余为去离子水；对研磨液进行拌；

步骤四、倒角；采用数控机床的金刚石砂轮对晶片的边角进行倒角处理；

步骤五、退火；将晶片放入退火炉内，以180～220℃/h的速度进行升温将温度升至1600℃，升温时在300℃、800℃、1600℃分别保温2～6h，然后以200℃/h的速度进行降温，降温时在1000℃、500℃分别保温2～3h冷却至室温取出；

步骤六、双面化学抛光；先用无水乙醇对晶片进行清洗，然后将清洗后的晶片放入双面抛光机中固定；抛光时，加入抛光液，抛光盘对晶片加压至0.12～0.15Mpa，抛光盘的转速为1000～1500r/min、将抛光好的晶片用无水乙醇清洗后，在室温下进行自然冷却；所述抛光液组分包括：0.5～2％的颗粒大小为1～6μm的立方氮化硼粉末，14～16％的烷基酚聚氧乙烯醚，4～6％的甘油，9～11％的聚丙二醇400，0.5～2％的纳米二氧化硅，使得抛光液PH值为11.0～13.0的碱性溶液，其余为去离子水；抛光过程中不断补充碱性溶液以保持抛光液的PH值；

步骤七、激光取片；将抛光后的晶片放入激光切割机中并通入保护气体，将晶片按需求切割成相应大小；

步骤八、镀膜；采用光学真空镀膜机对晶片的正反两面镀抗反射膜，抗反射膜由低折射率氧化物和高折射率氧化物逐层镀覆而成且层数为4～8层，最靠近晶片的一层采用低折射率氧化物，所述低折射率氧化物是硅或铝的氧化物，所述高折射率氧化物是钛或钽的氧化物；

步骤九、涂油墨；将镀膜后的晶片盖上镂空板，在晶片的边缘处刷涂油墨且重复刷涂三层；

步骤十、热烘；将涂完油墨的晶片放入热烘机中热烘2～3h后，空冷至室温。

2.根据权利要求1所述蓝宝石摄像头窗口片的生产方法，其特征在于：所述步骤二中，金刚砂线的直径为0.14～0.16mm，金刚砂线上金刚石的粒径为30～40μm，金刚砂线在切割时以12～15m/s的速度运动，晶体相对于金刚砂线的移动速度为0.2～0.3mm/min，切割时不断向金刚砂线喷洒切割液，所述切割液中含有粒径为20～30μm的金刚石颗粒和粒径为50～60μm的刚玉颗粒。

3.根据权利要求1所述蓝宝石摄像头窗口片的生产方法，其特征在于：所述步骤三中，所述研磨液中含有粒径为3～6μm的氧化铝颗粒。

4.根据权利要求1所述蓝宝石摄像头窗口片的生产方法，其特征在于：所述步骤五中，升温时，在300℃保温2h，在800℃保温3h，在1600℃保温4h。

5.根据权利要求1所述蓝宝石摄像头窗口片的生产方法，其特征在于：所述步骤六中，所述碱性溶液为KOH。

6.根据权利要求1所述蓝宝石摄像头窗口片的生产方法，其特征在于：所述步骤六中，所述抛光液PH值为12.0。

7.根据权利要求1所述蓝宝石摄像头窗口片的生产方法，其特征在于：所述步骤六中，抛光盘对晶片加压至0.135Mpa。

8.根据权利要求1所述蓝宝石摄像头窗口片的生产方法，其特征在于：所述步骤七中，激光束的直径为0.015～0.02mm，切割速度为3～5mm/s。

9.根据权利要求1所述蓝宝石摄像头窗口片的生产方法，其特征在于：所述步骤八中，所述光学真空镀膜机，采用离子源产生电子光束，先将低折射率氧化物或高折射率氧化物液化后凝固进行预熔，再将凝固后的低折射率氧化物或高折射率氧化物气化喷射到晶面上形成膜。