[发明专利]适合氧化镓衬底基片抛光的专用抛光液及其制备方法

权利要求书

1.一种适合氧化镓衬底基片抛光的专用抛光液，其特征在于它由以下质量份的原料制成：

所述硅溶胶乳液中二氧化硅的粒径为15nm，二氧化硅的质量浓度为40％；

所述络合剂选自葡萄糖酸钠、乳酸钠、庚糖酸钠、海藻酸钠、柠檬酸钠、乙二胺四乙酸二钠、乙二胺四乙酸四钠、六偏磷酸钠、焦磷酸钠、三聚磷酸钠、二乙烯三胺五羧酸盐、氨三乙酸钠、乙二胺四甲叉磷酸钠和二乙烯三胺五甲叉磷酸盐中的任意一种或两种以上混合物；

所述pH值调节剂选自氢氧化钠、氢氧化钾、氨水、甲胺、一甲胺、二甲胺、三甲胺、乙胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、乙醇胺、一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正丙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、丁胺、1-乙基丁胺、1,3-二氨基丙烷、二正丙胺、二正丁胺、4,4'-二氨基二苯胺、二甲基乙胺、二乙基甲胺、三乙胺、三丁胺、乙二胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺、甲基二乙醇胺、二乙烯三胺、羟胺、烷基二乙醇胺、环己胺、吗啉、苯基吗啉、二-(2-乙基己基)胺、二正丁胺、一戊胺、二戊胺、二辛胺、一乙醇胺水杨酸盐、二-β-萘基-对苯二胺、苄胺和1,3-丙二胺中的任意一种或两种以上混合物；

所述pH稳定剂选自甲胺、一甲胺、二甲胺、三甲胺、乙胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、乙醇胺、一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正丙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、丁胺、1-乙基丁胺、1,3-二氨基丙烷、二正丙胺、二正丁胺、4,4'-二氨基二苯胺、二甲基乙胺、二乙基甲胺、三乙胺、三丁胺、乙二胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺、甲基二乙醇胺、二乙烯三胺、羟胺、烷基二乙醇胺、环己胺、吗啉、苯基吗啉、二-(2-乙基己基)胺、二正丁胺、一戊胺、二戊胺、二辛胺、一乙醇胺水杨酸盐、二-β-萘基-对苯二胺、苄胺和1,3-丙二胺中的任意一种或两种以上的混合物；

所述的表面活性剂选自脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸铵、脂肪醇聚氧乙烯醚磺基琥珀酸单酯二钠、脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚(7)磺酸钠、二辛基磺基琥珀酸二钠、二-2-乙基己基磺基琥珀酸钠、月桂基硫酸钠、月桂基硫酸钾、十二烷基苯硫酸盐、α-烯烃磺酸盐、木质素磺酸盐、全氟辛烷磺酸盐、全氟丁烷磺酸盐、辛基酚聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯醚、聚氧乙烯脱水山梨醇单油酸酯、和硬脂酸甲酯聚氧乙烯醚(7)中的任意一种或两种以上的混合物；

所述消泡剂选自有机硅油类、矿物油类和聚醚类中的任意一种或两种以上的混合物。

2.根据权利要求1所述的适合氧化镓衬底基片抛光的专用抛光液，其特征在于：所述络合剂为乙二胺四乙酸二钠或乙二胺四乙酸四钠，所述pH值调节剂为氢氧化钠，所述pH稳定剂为三乙醇胺，所述表面活性剂为辛基酚聚氧乙烯醚(10)，所述消泡剂为有机硅油。

3.根据权利要求2所述的适合氧化镓衬底基片抛光的专用抛光液，其特征在于它由以下质量份的原料制成：

4.根据权利要求2所述的适合氧化镓衬底基片抛光的专用抛光液，其特征在于它由以下质量份的原料制成：