[发明专利]射束照射装置及射束照射方法

权利要求书

1.一种射束照射装置，其用于向对象物照射带电粒子束，其特征在于，具备：

射束扫描器，使所述带电粒子束沿规定的扫描方向往复扫描；

测定器，具有：狭缝，沿所述扫描方向的交叉方向具有细长形状，对作为测量对象的区域进行划分；及多个集电极，沿所述交叉方向具有细长形状，从所述狭缝沿射束前进方向分离，沿所述扫描方向排列配置；及

数据处理部，利用所述测定器的测量结果，计算带电粒子束的有效照射发射度，

所述测定器在所述往复扫描的带电粒子束沿所述扫描方向通过所述狭缝的开口区域的时间内，测量入射到所述狭缝而通过所述多个集电极检测的带电粒子数的时间变化值，

所述数据处理部将所述测定器所测量的角度分布的时间变化值中所包含的时间信息转换为位置信息来计算所述有效照射发射度，

所述有效照射发射度表示针对假想射束的所述扫描方向的发射度，所述假想射束能够通过将沿所述扫描方向扫描而射入到作为所述测量对象的区域的带电粒子束的一部分相加而形成。

2.一种射束照射装置，其用于向对象物照射带电粒子束，其特征在于，具备：

射束扫描器，使所述带电粒子束沿规定的扫描方向往复扫描；

测定器，在沿所述扫描方向往复扫描的带电粒子束通过作为测量对象的区域而射入到所述测定器的时间内，测量一边沿所述扫描方向移动一边被往复扫描的带电粒子束的角度分布的时间变化值；

驱动装置，具有位置检测部，其能够遍及所述带电粒子束的所述扫描方向的照射范围而移动所述测定器，并能够检测所述测定器的所述扫描方向的位置；及数据处理部，与所述位置检测部检测的所述测定器的位置对应地计算带电粒子束的有效照射发射度，

所述有效照射发射度表示针对假想射束的所述扫描方向的发射度，所述假想射束能够通过将沿所述扫描方向扫描而射入到作为所述测量对象的区域的带电粒子束的一部分相加而形成。

3.根据权利要求2所述的射束照射装置，其特征在于，

所述测定器遍及所述带电粒子束的所述照射范围而测量所述扫描方向的多个位置的所述角度分布的时间变化值，

所述数据处理部遍及所述带电粒子束的所述照射范围而计算所述扫描方向的多个位置的所述有效照射发射度。

4.一种射束照射装置，其用于向对象物照射带电粒子束，其特征在于，

具备：

射束扫描器，使所述带电粒子束沿规定的扫描方向往复扫描；

测定器，在沿所述扫描方向往复扫描的带电粒子束通过作为测量对象的区域而射入到所述测定器的时间内，测量一边沿所述扫描方向移动一边被往复扫描的带电粒子束的角度分布的时间变化值；

驱动装置，其能够使所述测定器沿所述扫描方向移动来使作为所述测量对象的区域沿所述扫描方向移动；及

数据处理部，将所述测定器所测量的角度分布的时间变化值中所包含的时间信息转换为位置信息来计算有效照射发射度，

所述有效照射发射度表示针对假想射束的所述扫描方向的发射度，所述假想射束能够通过将沿所述扫描方向扫描而射入到作为所述测量对象的区域的带电粒子束的一部分相加而形成，

所述射束照射装置还具备模式切换部，其控制所述射束扫描器及所述驱动装置的动作来切换与所述带电粒子束的角度分布相关的测量模式，

所述模式切换部具有：

第1测量模式，通过所述射束扫描器使所述带电粒子束往复扫描，使所述测定器针对沿所述扫描方向往复扫描的带电粒子束测量角度分布的时间变化值；及

第2测量模式，停止基于所述射束扫描器的所述带电粒子束的往复扫描，并且使所述测定器沿所述扫描方向移动，由此使所述测定器测量针对未被往复扫描的带电粒子束的角度分布的时间变化值，

所述数据处理部在所述第1测量模式中计算所述有效照射发射度，并在所述第2测量模式中计算所述未被往复扫描的带电粒子束的发射度。