[发明专利]一种硅片机械手

权利要求书

1.一种硅片机械手，包括 ：机械臂（1），一端与滑动导轨相连 ；真空吸附式手爪（2），与机械臂（1）的另一端相连 ；真空吸盘（3，4），位于真空吸附式手爪（2）上 ；控制器（6），所述控制器（5）能够改变所述机械臂（1）的位置并控制所述真空吸盘（3）工作，其特征在于，还包括温度传感器（5），所述温度传感器（5）设置在所述机械手上，并将检测的温度信号传递给所述控制器（5），所述真空吸盘的数量至少为2个。

2.如权利要求 1或2 所述的硅片机械手，其特征在于，所述真空吸附式手爪的面积为 6 至20平方厘米，所述真空吸盘的面积为 0.5 至 2 平方厘米。

3.如权利要求 1 所述的硅片机械手，其特征在于，所述真空吸盘之间相互分立，所述相互分立的真空吸盘通过分立的管道、气阀与气泵相连通。

4.如权利要求 1 所述的硅片机械手，其特征在于，所述真空吸附式手爪为矩形。

5.如权利要求 1 所述的硅片机械手，其特征在于，所述真空吸盘为椭圆形、圆形或条形。

6.如权利要求 1所述的硅片机械手，其特征在于，真空吸附式手爪上包含有 2 个真空吸盘，所述真空吸盘对称分布于真空吸附式手爪上。

7. 如权利要求 1所述的硅片机械手，其特征在于，真空吸附式手爪上包含有 3 个真空吸盘，所述真空吸盘呈等腰三角形分布于真空吸附式手爪上，或者，所述真空吸盘并排分布于真空吸附式手爪上。

8.如权利要求 1 所述的硅片机械手，其特征在于，所述温度传感器设置在所述机械手臂（1）上。

9.如权利要求 1所述的硅片机械手，其特征在于，所述控制器为可编程序控制器。

10.如上述任意一项权利要求所述的硅片机械手，其特征在于，还包括信号灯（7）。