[发明专利]利用灰度曝光生成微纳尺寸微型照片的方法在审
| 申请号： | 201510322327.5 | 申请日： | 2015-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN105000531A | 公开（公告）日： | 2015-10-28 |
| 发明（设计）人： | 陈宜方;徐晨 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 灰度 曝光 生成 尺寸 微型 照片 方法 | ||
【权利要求书】：
1.利用灰度曝光生成微纳尺寸微型照片的方法，其特征在于具体步骤如下：
（1）利用Beamer软件形成曝光文件；
（2）清洗硅衬底，在衬底上旋涂2-5微米厚的PMMA胶，并烘烤使之硬化，烘烤温度为170-190摄氏度，时间为30-60分钟；
（3）使用电子束光刻机对于设计好的图形进行曝光；
（4）在22-24摄氏度的1:1-1:3的MIBK与IPA溶液中显影1-5分钟，随后立刻在IPA溶液中冲洗30-60秒。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于步骤（3）中，电子束光刻机的光刻剂量在对比度曲线趋近直线处。
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