[发明专利]一种光刻胶吹涂装置

权利要求书

1.一种光刻胶吹涂装置，其特征在于，所述的装置含有滴胶平台二维直线驱动机组（1）、滴胶平台水平方向直线运动轴（2）、滴胶平台垂直方向直线运动轴（3）、旋转电机（4）、挤胶机构、滴胶器（6）、吹气平台二维直线驱动机组（7）、吹气平台水平方向直线运动轴（8）、吹气平台垂直方向直线运动轴（9）、气管（10）、减压阀（11）、压缩空气喷嘴（12）、偏转电机（13）、空压机组（14）、容胶池（15）、底座（16），其中，挤胶机构包括拉杆（5）、应变片（17）；其连接关系是，所述的底座（16）外形为凹状，底座（16）两方凸出的部分对称设置；底座（16）凸出的一方依次设置有与底座（16）底面平行的滴胶平台水平方向直线运动轴（2）、滴胶平台垂直方向直线运动轴（3），所述的滴胶平台水平方向直线运动轴（2）、滴胶平台垂直方向直线运动轴（3）外侧与滴胶平台二维直线驱动机组（1）连接，滴胶平台水平方向直线运动轴（2）的中心轴设置有拉杆（5），拉杆（5）的顶端连接有应变片（17），滴胶器（6）嵌入在滴胶平台水平方向直线运动轴（2）的内侧端头；在滴胶平台水平方向直线运动轴（2）上设置有用于驱动拉杆（5）的旋转电机（4）；底座（16）凸出的另一方依次设置有与底座（16）底面平行的吹气平台水平方向直线运动轴（8）、吹气平台垂直方向直线运动轴（9），吹气平台水平方向直线运动轴（8）、吹气平台垂直方向直线运动轴（9）的外侧与吹气平台二维直线驱动机组（7）连接，吹气平台水平方向直线运动轴（8）的内侧端头设有压缩空气喷嘴（12），压缩空气喷嘴（12）的上方与偏转电机（13）固定连接，下方设置有减压阀（11）；所述的吹气平台水平方向直线运动轴（8）与滴胶平台水平方向直线运动轴（2）对应设置，端头相对；所述的空压机组（14）设置在底座（16）内，空压机组（14）通过气管（10）与压缩空气喷嘴（12）连接；在底座（16）的凹处设置有容胶池（15），容胶池（15）为“W”型结构，容胶池（15）中心设置有用于安装工件（18）的凸起部分，容胶池（15）内四周设置有用于收集散落光刻胶的凹陷处。

2.据权利要求1所述的光刻胶吹涂装置，其特征在于，所述的滴胶平台水平方向直线运动轴（2）、吹气平台水平方向直线运动轴（8）、拉杆（5）为同轴心设置。