[发明专利]陶瓷环安装和取出工装

说明书

技术领域

本发明涉及一种陶瓷环安装和取出工装，主要应用于半导体镀膜设备反应腔中陶瓷环的安装和取出，属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。

背景技术

现有的半导体镀膜设备腔内结构变得越来越复杂，这就要求陶瓷衬套的结构相应的发生变化。随着半圆形陶瓷环的出现，陶瓷衬套徒手取出时外张变形，因此就不可避免地存在陶瓷环无法徒手取出或取出过程中与侧壁摩擦的问题。

发明内容

本发明以解决上述问题为目的，主要解决现有技术中陶瓷环没有专用工装进行安装和取出的技术问题，而提供一种结构合理、方便实用，安全快捷，拆卸便利，能不损伤陶瓷环及腔体侧壁的工装。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：陶瓷环安装和取出工装，包括制有弧面的工装支架。它还包括定位柱、握把、钢丝线、连接柱及弹簧。上述工装支架的前端制有台阶孔，弹簧放置在台阶孔大直径的孔内；上述定位柱与钢丝线相连，将钢丝线穿过工装支架的台阶孔，并使定位柱穿入弹簧进入工装支架的台阶孔内，将若干个定位柱与钢丝线分别固定好后，再将钢丝线统一与连接柱相连，连接柱与握把连接并固定，上述握把嵌入工装支架后部的方槽中。

当拉伸握把时，连接柱与钢丝线带动定位柱向内收缩，将工装对准陶瓷件的抽气孔，放开握把后定位柱在弹簧的作用下伸入陶瓷环抽气孔内与孔咬合，此时双手平端工装支架将陶瓷环从腔体内取出。

本发明的有益效果及特点在于：

结构简单，操作方便，能不损伤陶瓷环及腔体侧壁的工装。使用此工装，单人即可完成陶瓷环的取出和安装。通过工装可以方便、安全地实现陶瓷环安装和取出，不会损伤各个部件。适用于多种规格的陶瓷环，操作简单，拆卸方便，可广泛应用于半导体镀膜技术领域。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明的剖面示意图。

具体实施方式

实施例

参照图1和图2，陶瓷环安装和取出工装，包括制有弧面9的工装支架2。它还包括定位柱1、握把4、钢丝线5、连接柱7及弹簧8。上述工装支架2的前端制有台阶孔10，弹簧8放置在台阶孔10大直径的孔内；上述定位柱1与钢丝线5相连，将钢丝线5穿过工装支架2的台阶孔10，并使定位柱1穿过弹簧8进入工装支架2的台阶孔10内，将若干个定位柱1与钢丝线5分别固定好后，将钢丝线5统一与连接柱7相连，连接柱7与握把4连接并固定，上述握把4嵌入工装支架2后部的方槽中。

所述握把4上制有凹槽6；

所述握把4的两个侧面还制有曲面3；

所述定位柱1与钢丝线5的数量相匹配。

所述弹簧8与定位柱1的数量相匹配。

取出陶瓷环操作过程：单手握住握把4的凹槽6，手指自然贴合曲面，用力握紧手指将握把4向外拉伸，钢丝线5带动定位柱1收缩，将工装支架2的圆弧面9与陶瓷环内圆弧面贴合，并且将收缩状态的定位柱1与陶瓷环上的抽气孔对正，对正后将手松开握把4呈自由状态，定位柱1在弹簧8的作用下插入陶瓷环抽气孔，此时双手握住工装支架2的两个侧面，手指与曲面3贴合，双手平稳移动工装支架即可将陶瓷环取出。

安装陶瓷环操作过程：将上述取出过程颠倒进行，先握紧握把4，钢丝线5带动定位柱1收缩，将工装支架2的弧面与陶瓷环贴合，定位柱1与抽气孔对正，松开握把4后定位柱1在弹簧8的带动下与抽气孔插和，双手握住工装支架2的两侧曲面3，双手移动工装支架2即可实现陶瓷环的安装。