[发明专利]基于多波长激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法与系统

说明书

技术领域

基于多波长激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法与系统属于表面形貌测量技术领域， 特别涉及一种用于高数值孔径、大曲率及具有台阶特征的非球面元件表面形状测量的超精密、 高速干涉测量方法与系统。

背景技术

由于非球面具有更多的设计自由度，使得光学系统具有更大的灵活性，能够校正像差、 改善像质、扩大视场，并使光学系统结构简化、重量减轻，因此在现代光学系统中得到了广 泛应用，特别是在天文望远镜、深紫外光刻、激光武器光学系统、激光核聚变光学系统以及 制导导弹的光学成像引导系统等高端技术领域。目前，非球面测量方法比较多，包括：接触 式扫描法、斐索干涉测量法、计算全息法和共焦扫描测量法等。

接触式扫描法是最经典的测量方法，测量过程中，机械测头始终与被测表面保持接触， 表面上的结构及面形变化会导致机械测头发生垂直方向的位移，通过感知该位移即可以得到 被测表面的面形轮廓信息。该方法具有可靠、方便的特性，但是由于测头与被测表面直接接 触，因此存在损坏被测表面的风险，不适用于软表面、生物表面以及包含信息的器件表面等。

斐索干涉测量法与计算全息法本质上相同，一般需引入零位补偿技术，就是通过补偿元 件(计算全息板)的使用，把平面波或球面波变成与被测非球面理想面形相一致的波面，以 此波面作为标准波面与被测表面进行比较，通过几何光学方法或干涉法等手段观察二者之间 的差别。该方法不需扫描机构，通过一次测量可以获得被测表面的三维面形，测量速度快， 空间分辨率高，测量精度高，非接触测量等。但是其主要缺点是需要补偿元件，且不同被测 工件需要不同的补偿元件，大大增加了测量成本和复杂程度，通用性非常差，严重限制了其 测量范围；另外，当非球面曲率比较大时，将导致干涉条纹过密无法进行测量。

共焦扫描测量法在探测器前有一个极小的针孔，只有当物点位于焦点上时，反射光才能 够通过这个小孔被光电探测器收集，而焦点以外物体的反射光则会被屏蔽掉。在扫描过程中， 随着光学系统在垂直方向不断运动，测试样品将以切片的形式被分层成像，这一过程被称作 光学层析。该方法不仅具有良好的垂直分辨率和水平分辨率等特点，而且具有良好的深度响 应特性，光强对比度高，抗散射光能力强；但是对于高数值孔径或曲率变化较大的表面，由 于探测系统无法收集到足够的回光，因此很难实现其表面的测量。

发明内容

针对上述现有非球面测量方法的不足，本发明提出了一种基于多波长激光干涉的法线跟 踪式非球面测量方法与系统，本方法采用多波长激光干涉测量原理进行测量，并且激光干涉 测头具有旋转功能，因此可以实现大口径、高数值孔径、大曲率及具有台阶特征的非球面元 件表面形状的超精密、快速测量。

本发明的目的通过以下技术方案实现：

一种基于多波长激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法，其特征在于该方法步骤如下：

(1)该方法利用扫描机构、多波长干涉测头和回转工件台来实现；扫描机构采用X向导 轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，Z向导轨末端带有旋转机构，多波长干涉测头固定在该 旋转机构上，可以进行回转运动，被测非球面放置在回转工件台上；

(2)通过扫描机构将多波长干涉测头移动到被测非球面上的待测点，采用激光干涉仪记 录下此时旋转机构中心的X向和Z向位置坐标，分别记为x₁、z₁，在移动过程中激光干涉仪 的测量光与旋转机构中心始终符合阿贝原则，从而消除测量中的阿贝误差；然后利用多波长 干涉测头对被测非球面进行测量；

(3)多波长干涉测头采用三个稳频激光器作为光源，波长分别为λ₁、λ₂和λ₃，三台稳频 激光器的输出光首先分别经过一个光隔离器，以消除回光对稳频激光器的影响，然后被声光 移频器调制，调制频率分别为f₁、f₂和f₃；三束输出光分别被耦合进同一个保偏光纤进行合光 与传输，通过调节三束输出光的偏振方向使其与保偏光纤的快轴方向相匹配；

(4)三束激光经保偏光纤合光传输后被准直成同轴平行光束，平行光束被分光镜分为两 部分，其中一部分被透镜会聚到参考镜上作为参考光，另一部分被透镜会聚到被测非球面上 作为测量光；