[发明专利]基于复合激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法与系统

权利要求书

1.一种基于复合激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法，其特征在于该方法步骤如下：

(1)该方法利用扫描机构、复合式干涉测头和回转工件台来实现；扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，Z向导轨末端带有旋转机构，复合式干涉测头固定在该旋转机构上，可以进行回转运动，被测非球面放置在回转工件台上；

(2)通过扫描机构将复合式干涉测头移动到被测非球面上的待测点，采用激光干涉仪记录下此时旋转机构中心的X向和Z向位置坐标，分别记为x₁、z₁，在移动过程中激光干涉仪的测量光与旋转机构中心始终符合阿贝原则，从而消除测量中的阿贝误差；然后利用复合式干涉测头对被测非球面进行测量；

(3)复合式干涉测头采用两个稳频激光器作为光源，波长分别为λ₁和λ₂，两稳频激光器的输出光首先分别经过一个光隔离器，以消除回光对稳频激光器的影响，然后两输出光分别经过二分之一波片和光纤耦合器后，被耦合进保偏光纤进行合光与传输，同时通过调节光路中的两个二分之一波片，使两束激光的偏振方向相互垂直，并且其中一束激光的偏振方向与保偏光纤的快轴对齐，另一束激光的偏振方向与保偏光纤的慢轴对齐；

(4)两束激光经保偏光纤合光传输后，被准直成平行光束，平行光束被分光镜分为两部分，其中一部分被透镜会聚到参考镜上作为参考光，另一部分被透镜会聚到被测非球面上作为测量光；

(5)被测非球面的反射光一部分被透镜会聚到位置传感器上，将会聚光斑的位置转换成相应的电信号，并将电信号送入信号处理系统进行处理；当测量光与被测非球面垂直时，会聚光斑位于传感器中心，输出电信号为0；当测量光与被测非球面不垂直时，会聚光斑则偏离传感器中心，输出电信号不为0，将输出电信号送入信号处理系统进行处理，信号处理系统输出一个控制信号来调节Z向导轨末端旋转机构的旋转角度，直至使复合式干涉测头的测量光与被测非球面垂直，此时旋转机构的角度记为θ₁，从而保证在测量过程中，复合式干涉测头的测量光与被测非球面始终保持垂直，不受被测非球面曲率的影响；

(6)当复合式干涉测头的测量光与被测非球面垂直时，被测非球面的另一部分反射光与参考镜的反射光重新在分光镜处叠加形成干涉信号，该干涉信号由两个正交偏振，波长分别为λ₁和λ₂的干涉分量组成，两干涉分量被偏振分光镜分离成两个独立的干涉信号，并分别被光电探测器接收转换成电信号I₁和I₂，送入信号处理系统进行处理；

(7)信号处理系统利用波长为λ₁和λ₂的两干涉信号可以对被测非球面进行连续高精度干涉测量，但只能对连续表面进行测量；同时，两激光波长λ₁和λ₂结合可构成一个合成波长Λ，其大小为Λ＝λ₁λ₂/(λ₁-λ₂)；合成波长Λ均远大于λ₁和λ₂，因此利用合成波长Λ扩大了复合式干涉测头的测量范围，对高度小于Λ/2的台阶形状可直接进行测量；

(8)最终信号处理系统通过分析测量过程中记录的x₁、z₁、θ₁、I₁和I₂，可以计算出被测非球面上待测点的坐标值；

(9)按照预先设定的扫描轨迹，扫描机构将复合式干涉测头移动到被测非球面的下一个待测点，在每个待测点都重复步骤(2)～(8)的测量过程，直至完成整个扫描轨迹的测量，通过综合扫描轨迹上所有测量点的坐标值可以获得被测非球面的面形信息。

2.一种基于复合激光干涉的法线跟踪式非球面测量系统，其特征在于，该系统包括X向导轨(1)、Z向导轨(2)、旋转机构(3)、复合式干涉测头(4)、被测非球面(5)、回转工作台(6)、Z向激光干涉仪(7)、X向激光干涉仪(8)；其中，X向导轨(1)与Z向导轨(2)相互垂直安装，可以实现XZ平面内的扫描，复合式干涉测头(4)通过旋转机构(3)固定在Z向导轨(2)的末端，可以实现复合式干涉测头(4)的旋转运动，Z向激光干涉仪(7)与X向激光干涉仪(8)固定在Z向导轨(2)上，且Z向激光干涉仪(7)与X向激光干涉仪(8)测量光的轴线方向均通过旋转机构(3)的中心，被测非球面(5)固定在回转工作台(6)上；所述的复合式干涉测头(4)结构较复杂，包括稳频激光器A(9)、稳频激光器B(10)、光隔离器A(11)、光隔离器B(12)、二分之一波片A(13)、二分之一波片B(14)、光纤耦合器A(15)、光纤耦合器B(16)、单模保偏光纤(17)、准直镜组(18)、分光镜A(19)、透镜A(20)、参考反射镜(21)、分光镜B(22)、透镜B(23)、透镜C(24)、位置传感器(25)、光电探测器A(26)、透镜D(27)、偏振分光镜(28)、透镜E(29)、光电探测器B(30)、信号处理卡(31)，其中，稳频激光器A(9)、光隔离器A(11)、二分之一波片A(13)和光纤耦合器A(15)依次同轴放置，稳频激光器B(10)、光隔离器B(12)、二分之一波片B(14)和光纤耦合器B(16)依次同轴放置；单模保偏光纤(17)具有两个输入端与一个输出端，其中一个输入端与光纤耦合器A(15)相连，另一个输入端与光纤耦合器B(16)相连，输出端与准直镜组(18)相连；准直镜组(18)、分光镜A(19)、分光镜B(22)和透镜B(23)依次同轴放置，在分光镜B(22)的反射方向依次放置透镜C(24)和位置传感器(25)，在分光镜A(19)的反射方向依次放置透镜A(20)、参考反射镜(21)，在分光镜A(19)的另一反射方向依次放置偏振分光镜(28)、透镜E(29)和光电探测器B(30)，在偏振分光镜(28)的反射方向依次放置透镜D(27)和光电探测器A(26)，位置传感器(25)、光电探测器A(26)和光电探测器B(30)分别与信号处理卡(31)相连。