[发明专利]包括多重缓冲层的太阳能电池及其制造方法有效
申请号: | 201510312947.0 | 申请日: | 2015-06-09 |
公开(公告)号: | CN105206690B | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 李根;郭元燮;金珍赫;金譓俐;金镇雄 | 申请(专利权)人: | SK新技术株式会社 |
主分类号: | H01L31/0749 | 分类号: | H01L31/0749;H01L31/032;H01L31/0296;H01L31/0352;H01L31/18;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;王莹 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包括 多重 缓冲 太阳能电池 及其 制造 方法 | ||
1.一种太阳能电池,其包括:
基底;
背电极层,其形成在所述基底的上方;
光吸收层,其形成在所述背电极层的上方;
缓冲层,其包括形成在所述光吸收层上方的第一缓冲层和形成在所述第一缓冲层上方的第二缓冲层;以及
前电极层,其形成在所述缓冲层的上方,
其中,所述第一缓冲层是无氧层,
其中,当测量时,相对于包含在所述缓冲层中的总的原子,所述缓冲层包括0.5原子%-2原子%的Na,
其中,包含在所述缓冲层中的Na含量根据位置而不同且在所述光吸收层和所述缓冲层之间的交界面最高,
所述光吸收层包括选自CuInS2(CIS)、CuGaS2(CGS)、CuInSe2(CISe)、CuGaSe2(CGSe)、CuAlSe2(CASe)、CuInTe2(CITe)、CuGaTe2(CGTe)、Cu(In,Ga)S2(CIGS)、Cu(In,Ga)Se2(CIGSe)、Cu2ZnSnS4(CZTS)、CdTe中的一个以上的硫族化合物,
所述光吸收层是通过沉积硫族化合物并且使用H2Se或H2S气体进行热处理来形成,所述光吸收层表面是通过将所述光吸收层表面浸渍到选自H2S、H2Se、H2Te中的一个以上的化合物中来进行预处理。
2.如权利要求1所述的太阳能电池,其中,所述第一缓冲层包括ZnS、ZnSe、ZnTe或其组合物。
3.如权利要求1所述的太阳能电池,其中,所述第一缓冲层的带隙能量为3.5eV-3.7eV。
4.如权利要求1所述的太阳能电池,其中,所述第一缓冲层的厚度为0.2nm-2nm。
5.如权利要求1所述的太阳能电池,
其中,所述第二缓冲层包括含氧原子层和无氧原子层的堆叠层,
其中,所述含氧原子层包括(i)Zn和(ii)O,以及
其中,所述无氧原子层包括(i)Zn和(ii)S、Se、Te或其组合物。
6.如权利要求1所述的太阳能电池,
其中,所述第二缓冲层包括第三缓冲层和第四缓冲层的堆叠层,
其中,所述第三缓冲层包括ZnO、ZnOS、ZnOSe、ZnOTe或其组合物,以及
其中,所述第四缓冲层包括ZnS、ZnSe、ZnTe或其组合物。
7.如权利要求6所述的太阳能电池,其中,所述第三缓冲层和所述第四缓冲层的厚度比为3:1-10:1。
8.如权利要求1所述的太阳能电池,其中,所述第二缓冲层的厚度为4nm-50nm。
9.如权利要求1所述的太阳能电池,其中,所述基底为碱石灰玻璃基底。
10.如权利要求9所述的太阳能电池,其中,当测量时,相对于包含在所述碱石灰玻璃基底中的总的原子,所述碱石灰玻璃基底包括13原子%-15原子%的Na。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的