[发明专利]一种全自动蚀刻装置

权利要求书

1.一种全自动蚀刻装置，其特征在于：它包括蚀刻槽（1）、抓取机构、横杆（8）、支架（9）和控制箱（10），所述的抓取机构包括机械手控制器（11）、机械臂（12）和机械手（13），所述的机械手控制器（11）和机械臂（12）活动连接，机械手控制器（11）与机械手（13）之间连接有导线，机械手控制器（11）活动安装在横杆（8）上，所述的横杆（8）安装在支架（9）上，所述的控制箱（10）和机械手控制器（11）连接，所述的蚀刻槽（1）上安装有蚀刻剂管（5）和检测装置（3），蚀刻剂管（5）的入口连接有一蚀刻泵（4），蚀刻剂管（5）的出口位于蚀刻槽（1）内，所述的蚀刻泵（4）连接有一蚀刻辅助槽（2），所述的检测装置（3）与蚀刻槽（1）的底部连通，检测装置（3）内设置有比重计（31）和探头（32），比重计（31）位于探头（32）的下部，所述的蚀刻槽（1）的侧壁上设置有一控制器（6），蚀刻泵（4）和探头（32）与控制器（6）电连接。

2.根据权利要求1所述的一种全自动蚀刻装置，其特征在于：所述的蚀刻泵（4）与蚀刻剂管（5）连接的管道上设置有一电磁阀（7），电磁阀（7）与控制器（6）电连接。

3.根据权利要求1所述的一种全自动蚀刻装置，其特征在于：所述的机械臂（12）的旋转角度为360度。

4.根据权利要求1所述的一种全自动蚀刻装置，其特征在于：所述的机械手（13）的旋转角度为240度。