[发明专利]一种喷吹蚀刻装置在审
| 申请号： | 201510311264.3 | 申请日： | 2015-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN104846375A | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;赵兴文;张晓蓓;张小波 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种喷吹蚀刻装置，其特征在于：它包括喷淋组件（1）、传动轨道（2）和风嘴（3），以电路板传送方向为横向，所述的喷淋组件（1）横向等间距设置在传送轨道（2）上方，且每一个喷淋组件（1）的前方对应设置有一风嘴（3），所述的喷淋组件（1）由一个第一喷淋管（4）和两个第二喷淋管（5）组成，所述的第二喷淋管（5）位于第一喷淋管（1）纵向的两侧，且第一喷淋管（4）和第二喷淋管（5）上均设置有一阀门（6）。
2.根据权利要求1所述的一种喷吹蚀刻装置，其特征在于：所述的第一喷淋管（4）与两侧的第二喷淋管（5）之间的间距相等。
3.根据权利要求1所述的一种喷吹蚀刻装置，其特征在于：所述的第一喷淋管（4）对应电路板的中部设置，第二喷淋管（5）对应电路板的两端设置。
4.根据权利要求1所述的一种喷吹蚀刻装置，其特征在于：所述的风嘴（3）的出风口呈喇叭形状，吹出的气柱的边缘与电路板所在平面的夹角为45度到60度。
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