[发明专利]一种硅片甩干机加热缸盖在审
申请号: | 201510309898.5 | 申请日: | 2015-06-08 |
公开(公告)号: | CN104930846A | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | 岳喜卷;杨风彦;何怀红 | 申请(专利权)人: | 高佳太阳能股份有限公司 |
主分类号: | F26B25/00 | 分类号: | F26B25/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 张海英;徐鹏飞 |
地址: | 214174 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 甩干机 加热 缸盖 | ||
1.一种硅片甩干机加热缸盖,其特征在于:包括有上盖和下盖,所下盖中心设置有加热管连接头,所述加热管连接头两侧均连接有加热管,所述下盖通过铰链连接甩干机,所述上盖设置在下盖上方,所述上盖由加热板制成,所述加热板的上侧和侧边涂有保温层,所述加热板通过导线与加热电源电连,所述上盖的中部开有允许加热管通过的通孔。
2.根据权利要求1所述硅片甩干机加热缸盖,其特征在于:所述加热管内通有导热油,所述加热管连接有导热油循环系统。
3.根据权利要求1所述硅片甩干机加热缸盖,其特征在于:所述上盖上设置有一圈侧挡板。
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